用于基于光纖傳感的真空物理實(shí)驗(yàn)。
可以用于10-3Pa的真空度，同時(shí)滿足泄漏率要求。
工作光譜范圍：200-2500nm。有不同單模光纖（3.2/125，4/125，5/125，5.9/125，9/125…）、
多模光纖（50/125，62.5/125，105/125，200/220，400/440，570/600，...)可以選擇。
接口形式SMA905，F(xiàn)C/PC。
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可按用戶要求定制。
北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司的光纖過真空裝置是用來連接真空室內(nèi)的光纖的，如等離子體的監(jiān)控。真空通管包括一個(gè)帶Viton型密封圈的M12螺絲和2個(gè)SMA光纖接頭，可以方便的和光纖探頭連接（需要額外訂購兩個(gè)SMA905光纖適配器）。由多種型號(hào)的真空通管與所有芯經(jīng)的光纖匹配，從50um到1000um，而且分別有UV200~1100nm和IR400~2500nm波長型號(hào)。
真空通管概述
維意真空提供的光纖過真空裝置可以將光導(dǎo)入或?qū)С稣婵帐?，以進(jìn)行超高真空的應(yīng)用場合，例如半導(dǎo)體處理的光學(xué)監(jiān)測和薄膜吸附的zui終檢測。
在隔空箱中和高壓應(yīng)用場合下有較好的表現(xiàn)，真空度高達(dá)zui大10 -72 mbar?，操作溫度高達(dá)300 °C，真空室壁厚5-40 mm，玻璃或金屬封口光纖使性能表現(xiàn)提高，光纖過真空裝置使用牢固的金屬－玻璃封口膠，在超高真空應(yīng)用場合的表現(xiàn)得到提高。
光纖過真空裝置除了在半導(dǎo)體和薄膜處理方面的應(yīng)用，還是環(huán)境檢測、藥物學(xué)處理和光學(xué)涂層生產(chǎn)的理想工具。它還可以應(yīng)用在分子束外延和化學(xué)物理的蒸汽吸附方面，可以作為配合隔空箱、手套箱和中壓裝置的性能優(yōu)異的通管。
光纖過真空裝置的高壓與低壓面的終端可與SMA905連接器相連接，可以簡單地與光纖、光源、配件共同使用，以及光譜儀等光學(xué)設(shè)備。
光纖過真空裝置可以旋入真空樣品室上的一個(gè)M12外螺紋的孔，或可以用預(yù)備好的螺帽和墊圈旋入一個(gè)光滑的孔。裝配過程非常簡單，只需通過一個(gè)SMA905光纖適配器把光纖和光纖過真空通管連接起來即可。在樣品室的低壓面，我們建議用戶選配金屬硬殼的石英光纖配套。
光纖過真空裝置的光纖直徑有50μm、100μm、200μm、400μm、600μm和1000 μm可選；波長可選UV200~1100nm和IR400~2500nm，可選配SMA905或者FC接頭。
