* 真空艙體 Φ100mm × L270 mm 水平 （2 升）
* 外形尺寸W345mm ×H220mm ×D420mm
* 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發(fā)生器
* 高效針孔電極
* 銅氣體管、氣體流量計(jì)、針閥
* 使用氣體流量計(jì)和針閥控制氣體
* 使用氣體流量計(jì)和針閥控制氣體
* 自動計(jì)時(shí)器控制等離子處理過程
* 半自動控制
* 功率連續(xù)可調(diào) 0-100W
* 自動阻抗匹配
* 自由設(shè)置參數(shù)：處理時(shí)間、功率、氣體
* 自由設(shè)置參數(shù)：處理時(shí)間、功率、氣體
* 安全保護(hù)功能：真空觸發(fā)、艙門鎖
* 電磁閥保護(hù)，回流油霧不能進(jìn)入艙體
* 規(guī)格：W345 mm×H220 mm× D420 mm
* 電源：AC 220V/50Hz
* 電源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：萊寶Leybold Type S1.5（1.5m3/h）
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器
* 2.45 GHz 射頻發(fā)生器
* 硅酸鹽艙體（外置環(huán)形電極）或石英艙體
* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器
* 2.45 GHz 射頻發(fā)生器
* 硅酸鹽艙體（外置環(huán)形電極）或石英艙體
配件選裝指南:
· 13.56MHz射頻發(fā)生器
· 2.45GHz射頻發(fā)生器
· 半自動控制系統(tǒng)
· 全自動控制系統(tǒng) - 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)
· 計(jì)算機(jī)（PC）控制系統(tǒng) - 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)同時(shí)可記錄處理的整個(gè)過程
· 附加氣體通路
· 自動真空艙門· 設(shè)備自動門
· 條碼閱讀器
· 偏壓測量系統(tǒng)
· 碟型閥
· 排氣過濾系統(tǒng)
· 適用于腐蝕性氣體系統(tǒng)
· 艙體托盤可訂做 - 適合艙體的*尺寸
· 粉末處理裝置
· 法拉第容器
· 氣體供給系統(tǒng) - 在等離子聚合過程中提供密度均勻的單體
· 玻璃艙體（硅酸鹽或石英）
· 預(yù)熱板
· 等離子測量傳感器 - 應(yīng)用在等離子聚合過程和含腐蝕性環(huán)境中
· 真空泵抽氣入口過濾器
· 標(biāo)簽打印機(jī)
· 標(biāo)簽閱讀機(jī)
· 加深艙體
· 單體瓶 - 輕松的控制不穩(wěn)定的液體含量
· 網(wǎng)絡(luò)連接系統(tǒng)
· 聚合處理附件
· 氣瓶出氣減壓閥
· 石英玻璃皿
· 卷軸艙體系統(tǒng)- 適用于批量處理薄膜、箔等
· RIE電極（適用于刻蝕）
· 旋轉(zhuǎn)艙體系統(tǒng) - 適用于纖維、紡輪、顆粒狀等樣品的均勻、批量處理
· 安全閥
· 服務(wù)條約 - 使用易燃、易爆性氣體，例如：氫氣、乙炔…
· 附加的配件
· 特殊的電極和托盤
· 特殊法蘭/附加法蘭
· 特殊軟件
· 特殊真空艙體
· 過程溫度測量
· 測試墨水（用于測試表面接觸角）
· 真空泵系統(tǒng)
