470高濃度臭氧水分析儀采用的水中臭氧傳感器技術(shù),設(shè)計用來檢測半導體濕法處理和其他工業(yè)領(lǐng)域高濃度水中臭氧檢測。它可以為去離子水提供持續(xù)的臭氧測量,濃度高達150mg/L。 470(溶解水中全流量臭氧) 已經(jīng)完成”預(yù)備清潔”,可以應(yīng)用于高純度的半導體過程,在線安裝,流量高達150SLPM。
470傳感器結(jié)合料IN USA公司創(chuàng)新的雙路取樣傳感技術(shù)(獲得),達到了的性能和消除對參比氣測量的需要。
它無需控制器，直接輸出4-20mA或-5VDC標準信號，可直接連接到用戶的PLC或DCS等系統(tǒng)。
高濃度臭氧水分析儀特性
◆ 在線監(jiān)測
- ◆ 在線、全流量檢測設(shè)計
- ◆ 無移動配件
- ◆ 遠程自動校零
- ◆ 高精度紫外線測量技術(shù)
- ◆ 雙光路取樣技術(shù)
- ◆ 無需日常維護
- ◆ PTFE TEFLON材質(zhì)
- ◆ 半導體級別焊接材料
- ◆ 適合純水中或者含酸純水中臭氧濃度檢測
- ◆ 4-20mA/0-5VDC輸出
- ◆ 無控制器
?技術(shù)規(guī)格
◆ 制造商: IN USA INC(美國)
◆ 應(yīng)用 ：高濃度水中臭氧連續(xù)測量
◆ 測量原理 ：紫外吸收技術(shù),雙光路取樣測量技術(shù)
◆ 紫外線光源：低壓汞燈
◆ 測量單位 ：PPBw，mg/L
◆ 量程 ： 可達到150mg/L
◆ 精度：0.5mg/L或讀數(shù)1%（取大者）
◆ 流量：高達150SLPM
◆ 壓力：55PSI
◆ 接口：1”, 3/4”,1/2, 3/8” “Flaretek” 接口（其它接口可定制）
◆ 外殼：PEFE
◆ 焊接材料：PFA，Teflon，藍寶石，滿足半導體制程序要
◆ 尺寸：144 X 171 X 82mm
◆ 4-20mA或0-5VDC信號輸出
◆ RS-485信號或RS-232數(shù)字通訊
