First-Nano System GmbH
2003年 創(chuàng)立于德國德累斯頓工業(yè)大學（Dresden University of Technology）
2008年 香港成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
2015年 上海成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司中國代表處，負責中國區(qū)業(yè)務
2018年 深圳正式成立韋氏納米系統(tǒng)（深圳）有限公司，更好的為中國南方區(qū)市場
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產(chǎn)品范圍：
薄膜沉積/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液
低溫探針臺CPS-xxx-CF系列是一款成本低、穩(wěn)定、可靠和方便的低溫半導體測試甚至低溫晶圓級別測試器件的低溫探針臺系統(tǒng)。內(nèi)置振動隔離，智能熱管理和工程熱膨脹補償使低溫探針臺系統(tǒng)非常適合于寬范圍從納米電子學應用（石墨烯的研究，分子電子學，量子計算等）以空間為基礎的電子測試。
規(guī)格：
試樣尺寸：25、50mm、100mm、150mm或200mm可選
無冷閉式循環(huán)制冷機（S）：包括冷頭、壓縮機、制冷機和所需的氦氣軟管。
溫度范圍：標準10K～400K，4.2K到480k可供選擇
溫度精度：0.1k或更好
熱探針臂和輻射屏蔽
卡盤和探針臂的溫度監(jiān)測
輻射屏蔽和cryohead溫度監(jiān)測是可選的。
真空壓力
窗口材料：熔融石英，定制的材料和涂料是可用的。
相機：數(shù)碼相機從1像素到10像素。圖像和視頻采集軟件以及尺寸測量能力
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