SRS斯坦福PPR系列過(guò)程監(jiān)測(cè)系統(tǒng) SRS斯坦福PPR系列過(guò)程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)PPR過(guò)程監(jiān)控系統(tǒng)是為內(nèi)聯(lián)過(guò)程監(jiān)控和診斷而設(shè)計(jì)的。為殘余氣體分析儀(RGA)提供了兩條路徑:用于監(jiān)測(cè)基本真空的高導(dǎo)電性路徑,以及在工作壓力下監(jiān)測(cè)過(guò)程的減壓路徑。減壓路徑包含一個(gè)微型孔口,它被設(shè)計(jì)為在下列壓力之一下運(yùn)行:0.01、0.1、1或10 Torr。它將樣本壓力降低到RGA的工作壓力(大約10-6 Torr)。這種壓力下降是由一個(gè)混合渦輪泵和一個(gè)隔膜泵組成的抽油系統(tǒng)來(lái)維持的。這兩個(gè)泵都是無(wú)油的,不會(huì)污染你的過(guò)程。連接到你的過(guò)程室的進(jìn)口總成可以通過(guò)多種方式配置(見(jiàn)圖)。該系統(tǒng)包括一個(gè)RGA、旁路閥總成和Tee、一個(gè)控制器、渦輪泵、隔膜泵和用于數(shù)據(jù)采集和控制的Windows軟件程序。該軟件用于各種模式的操作,包括模擬掃描、直方圖模式、壓力與時(shí)間模式。法拉第杯和電子倍增探測(cè)器都是PPR系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)。電子倍增器提供額外的靈敏度和更高的掃描速度。PPR系統(tǒng)被*組裝和校準(zhǔn),并準(zhǔn)備好連接到你的真空處理室。
瑞軒電子科技(上海)有限公司-------國(guó)內(nèi)*儀器儀表供應(yīng)商
是全國(guó)儀器儀表行業(yè)“產(chǎn)品研發(fā)、銷(xiāo)售、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備維修”為一體供應(yīng)商
公司主要經(jīng)營(yíng):
一、傳感與測(cè)量?jī)x器 (GE druck, GE Panametrics,GE Bently,Wika,HBM,Tektronix,BEAMEX,SIKA,E E等進(jìn)口品牌)
二、氣體檢測(cè)儀(美國(guó)華瑞RAE,梅思安MSA,德?tīng)柛馜raeger等進(jìn)口品牌)
三、實(shí)驗(yàn)室儀器(德國(guó)IKA,美國(guó)奧豪斯,上海一恒,中科中佳,上海安亭,湖南湘儀等品牌)
四、水質(zhì)檢測(cè)儀(美國(guó)哈希hach,安捷倫等品牌)
五、氣動(dòng)液壓元件(派克Parker,阿托斯Atos,力士樂(lè)Rexroth,哈威Hawe等品牌)
六、無(wú)損檢測(cè)儀(德國(guó)KK,日本新寶,中國(guó)臺(tái)灣泰仕,德國(guó)卡爾德意志等品牌)
七、代采購(gòu)歐洲、美國(guó)等國(guó)外的高精密編碼器、傳感器、安全柵、泵閥、氣動(dòng)液壓配件、儀器儀表以及各類(lèi)自動(dòng)化產(chǎn)品,并被廣泛應(yīng)用于汽車(chē)、機(jī)械、鋼鐵、冶金、能源、石化、礦山、港口、軌道交通等眾多行業(yè)的國(guó)家重點(diǎn)企業(yè)。
3 10-5 torr/s流量
2秒響應(yīng)時(shí)間(0.1 Torr)
100、200或300個(gè)amu系統(tǒng)
6個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍
RGA Windows軟件
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