Ansgtrom Sun公司設(shè)計(jì)角度調(diào)整模型,通過(guò)5度間隔后精確預(yù)置槽移動(dòng)手臂手動(dòng)調(diào)節(jié)角度和電動(dòng)精密測(cè)角0.01度分辨率兩種模型。此外,測(cè)角垂直布局設(shè)計(jì),樣品可以水平放置,這是更安全的處理樣品時(shí)??煽康暮妥銐虻脑紨?shù)據(jù)集,更多膜的性能參數(shù),如薄膜或涂層 厚度,光學(xué)常數(shù)(折射率n,消光系數(shù)k指數(shù))、接口、孔隙度甚至成分可以通過(guò)建模。在這個(gè)意義上,*的軟件是一個(gè)必須為高性能光譜橢偏儀(SE)工具。我們開(kāi)發(fā)了TFprobe 3 x版軟件的系統(tǒng)設(shè)置。仿真,測(cè)量,分析,數(shù)據(jù)管理和2D / 3D圖形演示的一體機(jī)。 此外,SE200工具覆蓋了很寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi),從深紫外線(DUV)在可見(jiàn)光到近紅外(250~1100nm),標(biāo)準(zhǔn)配置。DUV范圍適合衡量超薄膜,如納米厚度范圍。一個(gè)例子是在硅晶片上的原生氧化層,這是典型的2nm厚。深紫外光譜橢偏儀也是*的,用戶需要測(cè)量多種材料的帶隙。
First-Nano System GmbH
2003年 創(chuàng)立于德國(guó)德累斯頓工業(yè)大學(xué)(Dresden University of Technology)
2008年 香港成立德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司
2015年 上海成立德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司中國(guó)代表處,負(fù)責(zé)中國(guó)區(qū)業(yè)務(wù)
2018年 深圳正式成立韋氏納米系統(tǒng)(深圳)有限公司,更好的為中國(guó)南方區(qū)市場(chǎng)
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產(chǎn)品范圍:
薄膜沉積/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液