光氧廢氣處理設(shè)備反應(yīng)塔內(nèi)裝填特制的固態(tài)填料，填料內(nèi)部復(fù)配多介質(zhì)催化劑。當(dāng)惡臭氣體在引風(fēng)機(jī)的作用下穿過填料層，與通過特制噴嘴呈發(fā)散霧狀噴出的液相復(fù)配氧化劑在固相填料表面充分接觸，并在多介質(zhì)催化劑的催化作用下，惡臭氣體中的污染因子被充分分解。適用范圍：適用范圍廣，尤其適用于處理大氣量、中高濃度的廢氣，對疏水性污染物質(zhì)有很好的去除率。優(yōu)點：占地小，投資低，運行成本低；管理方便，即開即用。缺點：耐沖擊負(fù)荷，不易污染物濃度及溫度變化影響，需消耗一定量的藥劑。

 光氧廢氣處理設(shè)備廢氣經(jīng)阻火器過濾后，通過主進(jìn)閥、旁通閥的同步反向切換調(diào)節(jié)進(jìn)入熱交換器，熱交換器的熱氣升高一定溫度后進(jìn)入預(yù)熱室、經(jīng)過預(yù)熱室的加熱使廢氣升溫到催化起燃溫度（250度）然后進(jìn)入催化反應(yīng)床，在催化劑的活性作用下，有機(jī)廢氣進(jìn)行氧化反應(yīng)生成無害的水和二氧化碳，并放出一定的熱量。反應(yīng)后的高溫氣體再次進(jìn)入熱交換器，經(jīng)換熱后，后以較低的溫度經(jīng)引風(fēng)機(jī)排入大氣。催化燃燒是借助催化劑在低溫下（200－400度）實現(xiàn)對有機(jī)物的*氧化，因此，操作簡單、安全、凈化效率高，在有機(jī)廢氣特別是回收價值大的有機(jī)廢氣凈化等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

固體表面吸附了吸附質(zhì)后，一部被吸附的吸附質(zhì)可從吸附劑表面脫離，此現(xiàn)附。而當(dāng)吸附進(jìn)行一段時間后，由于表面吸附質(zhì)的濃集，使其吸附能力明顯下降而吸附凈化的要求，此時需要采用一定的措施使吸附劑上已吸附的吸附質(zhì)脫附，以協(xié)的吸附能力，這個過程稱為吸附劑的再生。因此在實際吸附工程中，正是利用吸附一再生一再吸附的循環(huán)過程，達(dá)到除去廢氣中污染物質(zhì)并回收廢氣中有用組分。

燃燒法用于處理高濃度Voc與有惡臭的化合物很有效，其原理是用過量的空氣使這些雜質(zhì)燃燒，大多數(shù)生成二氧化碳和水蒸氣，可以排放到大氣中。但當(dāng)處理含氯和含硫的有機(jī)化合物時，燃燒生成產(chǎn)物中HCl或SO2，需要對燃燒后氣體進(jìn)一步處理。

等離子體就是處于電離狀態(tài)的氣體，等離子體由大量的子、中性原子、激發(fā)態(tài)原子、光子和自由基等組成，但電子和正離子的電荷數(shù)必須體表現(xiàn)出電中性，這就是“等離子體”的含義。等離子體具有導(dǎo)電和受電磁影響的許多方面與固體、液體和氣體不同，因此又有人把它稱為物質(zhì)的第四種狀態(tài)。根據(jù)狀態(tài)、溫度和離子密度，等離子體通?？梢苑譃楦邷氐入x子體和低溫等離子體（包子體和冷等離子體）。其中高溫等離子體的電離度接近1，各種粒子溫度幾乎相同系處于熱力學(xué)平衡狀態(tài)，它主要應(yīng)用在受控?zé)岷朔磻?yīng)研究方面。而低溫等離子體則學(xué)非平衡狀態(tài)，各種粒子溫度并不相同。其中電子溫度( Te)≥離子溫度(Ti)，可達(dá)104K以上，而其離子和中性粒子的溫度卻可低到300～500K。一般氣體放電子體屬于低溫等離子體。