張家港電子廠廢氣處理：
電子廠廢氣成分分析：
電子工業(yè)有機(jī)廢氣VOCs的排放，對(duì)大氣質(zhì)量、人體健康以及周邊生活環(huán)境的危害都較大，對(duì)該類污染物進(jìn)行有效控制和治理問題也愈發(fā)重要。電子工業(yè)從產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈劃分，自上而下分為電子整機(jī)產(chǎn)品、電子基礎(chǔ)產(chǎn)品和電子材料三個(gè)層次。其中涵蓋：電子材料、半導(dǎo)體器件、電子元件及印制電路板、光電器件和電子終端產(chǎn)品等5個(gè)方面。
電子工業(yè)是VOCs排放的主要行業(yè)之一，電子工業(yè)廢氣VOCs排放種類有30多種，組分復(fù)雜。電子工業(yè)廢氣VOCS主要來源于對(duì)電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用有機(jī)溶劑所致。電子工業(yè)廢氣VOCS常見的種類有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯等。
一般來說，廢氣排放中風(fēng)量較大，VOCs濃度較低。半導(dǎo)體工藝過程中有機(jī)廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點(diǎn)。電子工業(yè)廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有害氣體。
揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)排放量大、濃度低、成分復(fù)雜，常見有機(jī)廢氣治理方法如：焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等，單獨(dú)運(yùn)用或無法達(dá)成經(jīng)濟(jì)高效運(yùn)行，或不能滿足嚴(yán)苛的排放標(biāo)準(zhǔn)。
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吸附法:
(1)直接吸附法:有機(jī)廢氣經(jīng)活性炭吸附，可達(dá)95%以上的凈化率，設(shè)備簡(jiǎn)單、投資小，但活性炭更換頻繁，增加了裝卸、運(yùn)輸、更換等工作程序，導(dǎo)致運(yùn)行費(fèi)用增加。
(2)吸附-回收法:用纖維活性炭吸附有機(jī)廢氣，在接近飽和后用過熱水蒸汽反吹，進(jìn)行脫附再生;本法要求提供必要的蒸汽量。
(3)吸附-催化燃燒法:此法綜合了吸附法及催化燃燒法的優(yōu)點(diǎn)，采用新型吸附材料(蜂窩狀活性炭)吸附，在接近飲和后引入熱空氣進(jìn)行脫附、解析，脫附后廢氣引入催化燃燒床無焰燃燒，將其*凈化，熱氣體在系統(tǒng)中循環(huán)使用，大大降低能耗。本法具有運(yùn)行穩(wěn)定可靠、投資省、運(yùn)行成本低、維修方便等特點(diǎn)，適用于大風(fēng)量、低濃度的廢氣治理，是目前國(guó)內(nèi)治理有機(jī)廢氣較成熟、實(shí)用的方法。
