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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

硅片清洗機(jī)

參考價(jià) 20
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱那諾中國(guó)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)
  • 更新時(shí)間2019/12/20 12:36:35
  • 訪問次數(shù)437
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清洗機(jī)
硅片清洗機(jī)支持12”直徑的圓片或9”x9”方片,無(wú)損兆聲,試劑,毛刷清洗及旋轉(zhuǎn)甩干。
硅片清洗機(jī) 產(chǎn)品信息

NANO-MASTER提供兆聲硅片清洗機(jī),用于*的無(wú)損兆聲清洗??梢赃m用于易受損的帶圖案或無(wú)圖案的基片,包含帶保護(hù)膜的掩模版。為了在確保不損傷基片的情況下達(dá)到*化的清洗效果,兆聲能量的密度必須保持在稍稍低于樣片上任意位置上的損傷閾值。NANO-MASTER的技術(shù)確保了聲波能量均勻分布到整個(gè)基片表面,通過(guò)分布能量的zui大化達(dá)到理想的清洗,同時(shí)保證在樣片的損傷閾值范圍內(nèi)。

通過(guò)聯(lián)合使用化學(xué)試劑滴膠和NANO-MASTER的兆聲清洗技術(shù),系統(tǒng)去除顆粒的能力得到進(jìn)一步優(yōu)化。顆粒從表面被釋放的能力也因此得到提升,從而被釋放的顆粒在幅流的DI水作用下被掃除出去,而把回附的數(shù)量降到了zui低水平。從基片表面被去除。如果沒有使用幅流DI水的優(yōu)勢(shì),*的靜態(tài)可循環(huán)兆聲清洗槽會(huì)有更大數(shù)量的顆粒回附,并且因此需要更多的去除這些顆粒。

SWC是一款帶有小占地面積的理想設(shè)備,并且很容易安裝在空間有限的超凈間中。該系列設(shè)備都具有出眾的清洗能力,并可用于非常廣泛的基片。

硅片清洗機(jī)的特點(diǎn):

  • 支持12”直徑的圓片或9”x9”方片
  • 獨(dú)立系統(tǒng)
  • 無(wú)損兆聲,試劑,毛刷清洗及旋轉(zhuǎn)甩干
  • 微處理機(jī)自動(dòng)控制
  • 化學(xué)試劑滴膠單元
  • 溶劑與酸分離排廢
  • 熱氮
  • 30”D x 26”W 的占地面積

兆聲無(wú)損選配項(xiàng):

  • 掩模板或晶圓片夾具
  • 臭氧清洗
  • PVA軟毛刷清洗
  • 高壓DI清洗
  • 氮?dú)怆x子發(fā)生器
15168338725
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