AL76C立式微波等離子清洗機(jī)：AL76C為一體式緊湊型的等離子系統(tǒng)，真空泵集成于立柜內(nèi)。適用于批量生產(chǎn)，也可以i滿足研發(fā)及實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。并且，此系統(tǒng)可以滿足360度的芯片封裝需要、工業(yè)、醫(yī)藥等領(lǐng)域。AL76C系統(tǒng)是一款創(chuàng)新型的通用設(shè)備，可選配旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤，及ECR（電子回旋共振）裝置。

AL76C立式微波等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：

• 腔體:鋁
• 容積:76公升
• 尺寸:寬度400毫米×深度490毫米×高度400毫米
• 腔室門:帶觀察窗口的鉸鏈?zhǔn)介T
• 微波源：2.45GHz，可調(diào)50-1200W
• 氣體進(jìn)氣:3路數(shù)字顯示的質(zhì)量流量器控制
• 真空計(jì): Pirani,1-1000Pa
• 真空系統(tǒng)：DN 63 ISO-KF
• 真空閥：電動(dòng)氣動(dòng)閥
• 設(shè)備尺寸：1050毫米x800毫米x2020毫米

系統(tǒng)控制：

• PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
• 10.4"觸摸屏、圖形用戶界面
• Windows Office兼容
• 存儲(chǔ)處理數(shù)據(jù)和錯(cuò)誤信息，處理數(shù)據(jù)輸出
• 工藝參數(shù)圖形曲線的 監(jiān)測(cè)
• 自動(dòng)或手動(dòng)操作

選配：

• 真空泵 ： 真空泵組，如，抽吸能力大250m3/h
• 氣路：額外的數(shù)字顯示質(zhì)量流量控制器（可支持到4路）
• 旋轉(zhuǎn)臺(tái)：鋁，直徑350mm,速度可調(diào)
• ECR(電子回旋共振)：鋁、支架配置永磁體