DX-9BG型單晶回?cái)[曲線定向儀是半自動型角度測量儀,用于測定單晶材料的表面缺陷。單片機(jī)系統(tǒng)采集的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)傳送給計(jì)算機(jī)分析系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理進(jìn)而得到峰位角和半峰寬（FWHW）值，以此判斷晶面表面是生長的完整性。
DX-9BG型單晶回?cái)[曲線定向儀
主要特點(diǎn) | 該設(shè)備具有檢測過程無破壞性，重復(fù)性檢測精度高，準(zhǔn)確性高等特點(diǎn)，使檢測簡單、快捷，使用方便。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入電源：單相交流220V，50Hz，0、3KW。 2、zui大管電壓：30kV。 3、管電流：0-5mA連續(xù)可調(diào)。 4、探測器：閃爍探測器，工作電壓zui高為DC1000V。 5、X射線管：銅靶，風(fēng)扇冷卻，陽極接地。 6、測定角度：2θ=－10～120°，θ=－5～60°。 7、綜合精度：回?cái)[曲線測定的一側(cè)精度為±5″，晶體角度定向的一側(cè)精度為±15〞（用標(biāo)準(zhǔn)石英片10ī1面或?qū)毷瘨伖馄瑴y量，以廠內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)晶片量測）。 8、zui小讀數(shù)：1″。 9、測試速度：一般樣品測一次需用時(shí)間18秒（掃描角度范圍±5ˊ），可測一次或者多次，樣品不動，反復(fù)多次測量同點(diǎn)重復(fù)性≤±1″（用標(biāo)準(zhǔn)石英拋光片 10ī1面或藍(lán)寶石襯底級拋光片測量）。 10、數(shù)據(jù)采集頻率：每1〞(1/3600度)采集一次數(shù)據(jù)。 11、存儲功能：電腦自動記錄每次測量結(jié)果，需保存測試記錄時(shí)，點(diǎn)擊轉(zhuǎn)存按鈕，將所有記錄保存在excel表中。 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 主機(jī)750（長）×682（寬）×690（高）mm；電器930（長）×790寬）×780（高）mm；重量：140kg。 |
