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廣電計量檢測集團股份有限公司

EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀

參考價 15
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地沈陽市
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時間2020/1/26 18:33:21
  • 訪問次數(shù)507
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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司是由畢業(yè)于美國麻省理工學(xué)院的江曉平博士于
2000年5月創(chuàng)建。與合肥科晶材料技術(shù)有限公司、深圳市科晶智達科技有限公司同屬于科晶聯(lián)盟。自*SYJ-150低速金剛石切割機誕生以來,沈陽科晶便開始了以趕超國外同行、材料分析設(shè)備潮流為目標(biāo)的發(fā)展歷程。時至今日,已經(jīng)擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結(jié)、分析等領(lǐng)域以及相關(guān)耗材的上百種產(chǎn)品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復(fù)合材料、生物材料等制備分析的全套需要。

自動化設(shè)備
加工定制
EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀體積小巧可節(jié)省實驗室空間,原理簡單,操作方便,尤其適合于實驗室中薄膜制備過程的使用。
EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀 產(chǎn)品信息

EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合*的頻率測量技術(shù),進行膜厚的在線監(jiān)測。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中,用于對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。膜厚監(jiān)測儀根據(jù)制備薄膜的實時速率可以輸出PWM(脈沖寬度調(diào)制)模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制,從而檢測所制備薄膜的厚度。膜厚監(jiān)測儀體積小巧可節(jié)省實驗室空間,原理簡單,操作方便,尤其適合于實驗室中薄膜制備過程的使用。 

EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀

主要特點

1、本機可與計算機連接。

2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。

3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進行設(shè)置,并可將所測相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。

4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點。

技術(shù)參數(shù)

EQ-TM106-1監(jiān)測組件

1、電源:DC  5V(±10%),zui大電流400mA

2、頻率分辨率:±0.03Hz

3、膜厚分辨率:0.0136Å(鋁)

4、膜厚準(zhǔn)確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應(yīng)力,溫度和密度

5、測量速度:100ms-1s/次,可設(shè)置

6、測量范圍:500000Å(鋁)

7、標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體:6MHz

8、計算機接口:RS-232/485串行接口(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位:8,停止位:1,校驗:無)

9、模擬輸出:8比te分辨率,PWM脈寬調(diào)制輸出(集電極開路或內(nèi)部5V輸出)

10、工作環(huán)境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠

11、外形尺寸:90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2顯示儀

1、輸入電源:AC 220V±10%

2、輸出電源:DC  5V  3A

3、顯示器:12×2數(shù)碼管與LED

4、通訊端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位:8位,停止位:1位,奇偶校驗:無)

5、外形尺寸:182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探頭

1、適用晶片頻率:6MHz

2、適用晶片尺寸:Ø14mm

3、安裝法蘭:CF35

4、冷卻水管:Ø3mm,長度300mm、500mm、1000mm

5、冷卻水壓:<0.3MPa

6、氣動擋板路管:Ø3mm

7、壓縮空氣壓力:<0.8MPa,>0.5MPa

8、烘烤溫度:通水狀態(tài)<200℃,不通水狀態(tài)法蘭<100℃

9、電氣接口:BCN插座

關(guān)鍵詞:傳感器 顯示器
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