中國(guó)臺(tái)灣FURNAN福南油泵齒輪泵油箱溫升嚴(yán)重VHO-F-20-A1,VHO-F-20-A2中國(guó)臺(tái)灣福南FURNAN葉片泵*半導(dǎo)體晶體在受到一個(gè)外力作用時(shí)，因半導(dǎo)體的阻效應(yīng)，其內(nèi)部的電阻會(huì)發(fā)生大的改變。利用測(cè)出電阻改變量制成的齒輪泵壓力傳感器稱半導(dǎo)體傳感器，其工作原理如圖5-70所示。將硅單晶基板的中央部分腐蝕薄膜狀的硅環(huán)，再利用IC的擴(kuò)散工藝制成由四個(gè)半導(dǎo)體應(yīng)變片構(gòu)成的惠斯通電橋，測(cè)量出電阻改變量，便可測(cè)出液體的壓力。
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齒輪泵壓電式壓力傳感器是利用晶體的正壓電效應(yīng)制成的傳感器。所謂壓電效應(yīng)，是指壓電晶體在外載荷（液體壓力）的作用下產(chǎn)生機(jī)械變形，在其極化面上會(huì)產(chǎn)生電荷，且產(chǎn)生的電荷量與外部施加的力成正比，因此測(cè)得電荷量便可測(cè)出液體壓力的大小。葉片泵VHO-F-12-A2 ,VHO-F-15-A2,VHO-F-20-A2,VHI-F-30-A2,VHI-F-40-A2,VHI+PA,VHP-F-30-A2,VHP-F-40-A2,VHOD-F-2020-A2,VHOD-F-3030-A2,VHOD-F-4040-A2,VHI-F-30-S, VHI-F-40+PA 齒輪泵CBN-E304,CBN-E306,CBN-E308,CBN-E310,CBN-E312,CBN-E314,CBN-E316,CBN-E318，CBN-E320,CBN-E325 液壓泵HGP-1A-F3R,HGP-1A-F4R,HGP-1A-F5R,HGP-1A-F6R,HGP-2A-F8R,HGP-2A-F12R,HGP-3A-F11R,HGP-3A-F19R,HGP-3A-F13R,HGP-3A-F23R,HGP-3A-F25R,HGP-3A-F17R,HGP-3A-F28R,HGP-3A-F30R 油泵CBF-E10，CBF-E16，CBF-E18，CBF-E25，CBF-E31.5，CBF-E40，CBF-E50，CBF-E63，CBF-E71，CBF-E80，CBF-E90，CBF-E100，CBF-E112，CBF-E125，CBF-E140 電磁換向閥SWH-G02-C2-A220-10, SWH-G02-C2-A220-20,SWH-G02-C3-A220-10,SWH-G02-C3-A220-20,SWH-G02-C4-A220-10,SWH-G02-C4-A220-20,SWH-G02-C6-A220-10,SWH-G02-C6-A220-20,SWH-G02-C2-D24-10,SWH-G02-C2-D24-20,SWH-G02-C3-D24-10,SWH-G02-C3-D24-20,SWH-G02-C4-D24-10,SWH-G02-C4-D24-20,SWH-G03-C2-A220-10,SWH-G03-B2-A220-20,SWH-G03-B2-D24-20 溢流閥Y2-Ha10B,Y2-Hb10B,Y2-Hc10B,Y2-Hd10B，Y2-Ha20B,Y2-Hb20B,Y2-Hc20B,Y2-Hd20B-W中國(guó)臺(tái)灣FURNAN福南油泵齒輪泵油箱溫升嚴(yán)重VHO-F-20-A1,VHO-F-20-A2中國(guó)臺(tái)灣福南FURNAN葉片泵*
壓電效應(yīng)是一種靜電效應(yīng)，壓電元件受力所產(chǎn)生的電荷很微弱，加上其他因素，輸出信號(hào)很弱，所以傳感器的輸出信號(hào)必須由低噪聲電纜引入高輸入阻抗的電荷放大器，該放大器是具有深電容負(fù)反饋的高增益放大器，其等效電路見圖5-69“）。
圖5-69 (a)為壓電式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)原理。被測(cè)液體壓力作用在膜片上，膜片將力傳給壓電晶體，晶體受沿極化方向的力作用后，產(chǎn)生厚度方向的壓縮變形，因壓電效應(yīng)產(chǎn)生電荷，再由兩極板收集引向測(cè)量電路。
壓電式壓力傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，性能優(yōu)良，測(cè)壓范圍廣（lOOPa～60MPa），工作頻帶寬，耐沖擊，可在高溫環(huán)境下工作，應(yīng)用較廣泛。
