中國臺灣FURNAN福南油泵齒輪泵油箱內(nèi)油液被污染VHO-F-20-A1,VHO-F-20-A2中國臺灣福南FURNAN葉片泵*壓阻式壓力傳感器是采用半導體材料沿其晶向切取細薄片作為應變片——壓力敏感元件所鉚制成的壓力傳感器。半導體材料在某一方向承受壓力時，電阻率將發(fā)生顯著變化，可將P型或N型半導體晶體細薄片作為電阻應變片用膠水牢固地粘貼在能感受壓力變化的彈性元件上。’當彈性元件隨壓力變化而產(chǎn)生應起時，半導體電阻應變片也受壓產(chǎn)生壁應變，使其電阻發(fā)生變化，電阻值的變化量與彈性元件的應變量成正比。測量此電阻值的變化量便可測出彈性元件的應變量，從而測出壓力的大小。
圖5-68為壓阻式壓力傳感器結構，被測壓力先作用在鋼膜片上，通過硅油將壓力傳給硅膜片，使壓敏電阻變化并通過電橋將號輸出，從而測出液體壓力的大小。鋼膜片隔開被測液體和硅膜片，可保護硅片，使其性能穩(wěn)定。鋼膜片和硅油的不可壓縮性保證了被測壓力可等效傳到硅膜片上，它們也不影響傳感器的靈敏度、線性和遲滯等性能，只影響零點效應和頻率特性。
齒輪泵壓阻式壓力傳感器測壓范圍寬，精度高，固有頻率高，動特性好，重量輕，耐沖矗擊振動，因廣泛用于生產(chǎn)、科研中。

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由電阻應變片和壓力敏感元件所組成。壓力敏感元件有膜片式、濺射薄膜式、應變筒式、變簡支芝梁式和組合式筆等。
電阻孟≥甘常用的有：電阻絲應變片[圖5-63 (a)]，它由一根直徑為O．。12～0. 05mm的齒輪泵高電阻系數(shù)的金屬絲1（如康銅絲、鎳鉻合金絲等）繞成柵狀，用膠水牢固地粘貼在絕緣片2．上，電阻絲兩端各焊接一根較粗的紫銅絲3作為引出線，上面再貼一層覆蓋物。箔式應變片[圖5-63 (b)]，它是由厚度為O．005～0．Olmm的高彈性合金（如銅基、鐵基、鎳基）材料制成的合金箔加熱附著在厚度為0.05mm的塑料片基上，用腐蝕加工的方法制成柵形而成。理想的材料為鈮基合金，這種高溫恒彈性材料無磁，耐蝕，彈性模量值低（彈性很高），滯后小，靈敏度高，使用溫度達到一55～150℃，這些特性將大大提高傳感器的性能和精度。半嗡變片[圖5-63 (c)]，它是將P型或N型半導體晶體沿一定晶向切取細薄片代替金褲步w。箔制成的應變片，它的體積小、靈敏度高，但受溫度影響句大。中國臺灣FURNAN福南油泵齒輪泵油箱內(nèi)油液被污染VHO-F-20-A1,VHO-F-20-A2中國臺灣福南FURNAN葉片泵*
應變片式壓力傳感器的工作原理如圖5-64所示。壓力敏感元件承受壓力后產(chǎn)生應籮箋’阻應變片則將應變量變換為電阻的變化量AR, AR再通過惠斯通電橋將其變成電量（電壓）而輸出。