氦質(zhì)譜檢漏儀半導(dǎo)體用配管配件檢漏
上海伯東客戶某專門生產(chǎn)半導(dǎo)體配管配件工程公司, 定制不銹鋼管, 配件, 閥門和歧管廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體廠務(wù)端, 用于輸送高壓氧氣, 氫氣等. 客戶從現(xiàn)場(chǎng)量測(cè)管路, 然后對(duì)不同口徑的管路進(jìn)行焊接, 因半導(dǎo)體行業(yè)的苛刻使用要求, 產(chǎn)品漏率值需要達(dá)到 <1E-9mar l/s, 因此需要進(jìn)行泄漏檢測(cè), 已驗(yàn)收管件是否達(dá)標(biāo). 客戶對(duì)檢漏效率要求較高, 需要在生產(chǎn)線使用且方便移動(dòng)操作, 經(jīng)過上海伯東*終選擇移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 和 ASM 392!
半導(dǎo)體用真空配管檢漏方法: 采用真空模式檢漏, 按照下圖組裝樣品, 在懷疑有漏的地方噴氦氣（一般需要檢漏的部位是焊縫或連接處), 如果有漏, 檢漏儀會(huì)出現(xiàn)聲光報(bào)警同時(shí)在屏幕上顯示當(dāng)前漏率值.
檢漏配置:
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將制作好的各種管件加工焊接, 然后管路連接至氦氣檢漏儀 ASM 390 進(jìn)行檢漏
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經(jīng)過實(shí)際測(cè)試, 無(wú)論管徑是 6’, 8’ or 10’, 長(zhǎng)度在 1m~2m, 均可在 < 90 s 以內(nèi)達(dá)到客戶檢漏底壓需求 <1E-9 mbar l/s, 快速又, 大大提升了工作效率 |
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測(cè)試各個(gè)管路時(shí), 可依照客戶需求將數(shù)據(jù)記錄儲(chǔ)存 (并可儲(chǔ)存至計(jì)算機(jī)內(nèi))
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到現(xiàn)場(chǎng)配管, 所有管件組裝后, 長(zhǎng)度達(dá)好幾十米, 對(duì)比之前的檢漏時(shí)間, 工程花費(fèi)時(shí)間可能趨近于一天, 但選用伯東 Pfeiffer ASM 390, 在整體抽校與檢漏時(shí)間上, 幾乎縮短了一倍時(shí)間！
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因管路銜接長(zhǎng), Pfeiffer ASM 390 針對(duì)此點(diǎn)多了一項(xiàng)功能
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結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東德國(guó) Pfeiffer 推出全系列新型號(hào)氦質(zhì)譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺(tái)式檢漏儀滿足各種不同的應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. *氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 >>
半導(dǎo)體配管配件檢漏用氦質(zhì)譜檢漏儀
半導(dǎo)體配管配件檢漏用氦質(zhì)譜檢漏儀
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