日本JFC精密陶瓷粉碎介質(zhì)高純度氧化鋁微珠
氧化鋁(Al2O3)
氧化鋁(Al2O3)是精密陶瓷中z常用的材料。我司供應(yīng)純度為99.5%和99.9%的產(chǎn)品。
電絕緣性
耐磨耗性
耐熱性
耐腐蝕性
耐等離子性
主要用途
半導(dǎo)體制造設(shè)備部品(腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設(shè)備部件、晶圓夾盤)
粉碎機(jī)部件(分級(jí)機(jī)、氣流式粉碎機(jī)、珠磨機(jī))
一般產(chǎn)業(yè)用部件(激光加工機(jī)噴嘴、轉(zhuǎn)軸、軸承)
高精度用,精密用,耐熱用冶工具(定位治具、裝配夾具)
耐磨耗部件(拉絲機(jī)導(dǎo)向輥、鋼絲通道、導(dǎo)軌)
電絕緣部件(絕緣子、墊片、襯套)
特點(diǎn)
氧化鋁是白色或乳白色的陶瓷,利用其優(yōu)異的電絕緣性能,早期開始即應(yīng)用在電子部品上,使用量較多,是精密陶瓷中成本z低的材質(zhì)。
我司供應(yīng)純度為99.5%和99.9%的高純度產(chǎn)品。高純度類型氧化鋁的機(jī)械強(qiáng)度高、耐腐蝕性優(yōu)異,可生產(chǎn)大型產(chǎn)品。
此外,由于其具有優(yōu)異的耐等離子特性,也可用于CVD設(shè)備或蝕刻設(shè)備的部件。
日本JFC精密陶瓷粉碎介質(zhì)高純度氧化鋁微珠
氧化鋁
型號(hào) | 特點(diǎn) | 密度 | 楊氏彈性模量 | 彎曲強(qiáng)度 | 斷裂韌性 | 熱膨脹系數(shù) | 熱傳導(dǎo)率 | 體積電阻 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
[g/cm3] | [GPa] | [MPa] | [MPa?m1/2] | [×10-6/K] | [W/m?K] | [Ω?cm] | ||
ALP01 氧化鋁99.5% | 用途廣泛 高剛性 | 3.9 | 370 | 440 | 3~4 | 6.3 | 33 | >1014 |
ALP02 氧化鋁99.9% | 高純度 高剛性 | 3.9 | 370 | 450 | 3~4 | 6.3 | 30 | >1014 |
熱膨脹系數(shù)為RT~200℃時(shí)的測量數(shù)據(jù)。