日本ACE壓力控制器AP160M
日本ACE壓力控制器AP160M
AP160M
半導(dǎo)體自動(dòng)調(diào)節(jié)器
非常適合從低真空到高真空的真空工藝設(shè)備
AP160M是一種控制器,可根據(jù)半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體,通過自動(dòng)控制比例電磁閥的開度來自動(dòng)調(diào)節(jié)管道中的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器,因此無需添加外部傳感器。
控制壓力約為650kPa,控制流速為100kPa壓差,有兩種接觸類型,即500cc / min和3000cc / min。通過通過脈沖寬度調(diào)制來控制比例電磁閥,AP160M模型可以提高響應(yīng)度并消除滯后現(xiàn)象,因此可以在大約1秒鐘內(nèi)達(dá)到設(shè)定壓力。
壓力b接頭是1/4“ VCR等效產(chǎn)品,氣體接觸部分和壓力傳感器均由金屬制成,并且與惰性氣體,腐蝕性氣體,危險(xiǎn)氣體等所有氣體兼容。除了半導(dǎo)體工藝氣體以外,也是可能的。
模型 | AP160M |
主要用途 | 對(duì)于半導(dǎo)體 |
目標(biāo)氣體 | 半導(dǎo)體工藝氣體就座氣體 |
入口壓力 | 500kPa以下 |
耐壓 | 小于1000kPa |
壓力設(shè)定 | 需要計(jì)算機(jī)等輸入的壓力設(shè)定值 |
控制方式 | 比例電磁漿控制 |
控制壓力 | 0-500kPa |
流量 | 當(dāng)壓差為100 kPa時(shí),有兩種類型,即500 cc / min和3000 cc / min。 |
響應(yīng)時(shí)間 | 1秒鐘達(dá)到設(shè)定值 |
輸入信號(hào) | 0 ?? 5VDC連續(xù)/關(guān)閉 |
R485 | |
外部傳感器輸入 | (4 ?? 20A可能) |
輸出信號(hào) | 報(bào)警輸出RS485.0-5VDC |
管件 | 1/4〃VCR等效 |
閥座泄漏 | 10-6Pa ? m3 /秒以下 |
準(zhǔn)確性 | ±5kPa(在800kPaFS時(shí)) |
電源電壓 | 24VDC±10% |
目前的消費(fèi) | 200mA以下 |
工作溫度 | 0-50℃無凝結(jié) |
面之間的外部尺寸 | 寬36×深46×高60mm |
壓力傳感器 | 是(內(nèi)置) |
顯示設(shè)定裝置 | 沒有裝備 |