日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series
日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series
主要用途
- ♦單晶圓清洗設(shè)備的腔室壓力控制
- ♦清潔送風(fēng)室和清潔卡車室的壓力控制
- ♦受排氣管壓力波動影響的設(shè)備和工藝
- ♦液晶氣刀罐排氣壓力控制
- ♦潔凈室的排氣壓力控制
可從5A開始
物品 | EPS-5200 | EPS-5150 | EPS-5100 |
連接管口徑 | 200A | 150A | 100A |
流量范圍(一次側(cè)) | 0.5至15 Nm3 /分鐘 | 0.5-10 Nm3 /分鐘 | 0.3-5 Nm3 /分鐘 |
如果流量小于最小流量,則可能無法達到設(shè)定壓力。 | |||
壓力損失 | 50 Pa at 15 Nm3 / min(空氣) | 10 Nm3 / min時20 Pa以下(空氣) | 10 Nm3 / min時20 Pa以下(空氣) |
控制閥連接 | 200A管道 | 150A水暖 | 100A管道輸出 |
調(diào)整壓力范圍(一次壓力) | -50至-999Pa(取決于與大氣壓和二次??壓力的壓差) | ||
二次壓力(閥門下游壓力) | (控制壓力-50)Pa以下 | ||
如果壓差小于此值,則主要調(diào)節(jié)范圍將變窄。 | |||
壓力精度 | 滿量程的±2% | ||
控制紋波(穩(wěn)定控制期間的變化) | 滿量程的±1%(在二次壓力波動的±10 Pa內(nèi)) | ||
耐壓(一次壓力) | 50kPa以內(nèi)(與大氣壓的壓差) | ||
反應(yīng)性 | 在2秒鐘內(nèi)達到設(shè)置的98%(典型值) | ||
流體溫度 | 10-50℃ | ||
主機環(huán)境溫度(精度保證溫度) | 15-35℃ | ||
電源電壓 | 24V DC±10% | ||
外部輸出 | 壓力信號:1-5V DC | ||
報警:NPN晶體管集電極開路DC 30V <100mA | |||
控制器(CD-100) | 現(xiàn)場設(shè)置或外部設(shè)置均可切換 | ||
外部設(shè)定信號 | 壓力設(shè)定信號:4?20mA | ||
閥門:強制打開,控制 | |||
(選件)控制/打開(C / O):24V DC ON / OFF | |||
報警信號 | 壓差(可選設(shè)置) | ||
身體異常(包括壓力控制器異常) | |||
串行通訊 | RS485 | ||
供氣(N2)壓力 | 0.3±0.1兆帕 | ||
每個端口 | Φ6mm一觸式(閥門,電動氣動部分) | ||
Φ4mm一鍵式(用于壓力測量) | |||
閥門的供應(yīng)管道是可選的 | |||
氣體接觸材料 | PVC,Viton,EPDM | ||
安裝姿勢 | 自由 | ||
控制閥狀態(tài) | 電源關(guān)閉時保持閥狀態(tài) |