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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

Bruker ContourGT-X白光干涉儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等)
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2021/6/30 8:25:54
  • 訪問次數(shù)541
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亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等)成立于1998年,公司自成立以來就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、*封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測(cè)、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實(shí)際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案?! ∧壳皝喛齐娮右雅c眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供*的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。   亞科電子目前客戶遍及國(guó)內(nèi)所有科研院所、高校和研發(fā)制造企業(yè),已成功地服等各研究所;清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)等各大高校;三安集成、華潤(rùn)微電子等多個(gè)制造企業(yè)。   亞科電子歷年來秉承“專業(yè)服務(wù),全面服務(wù)”的宗旨,為客戶提供整套技術(shù)工藝和設(shè)備方案。通過專業(yè)的技術(shù)服務(wù),實(shí)現(xiàn)了真正意義上的交鑰匙工程。高性能的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)是我們成功的基石,亞科電子期待與更多國(guó)內(nèi)外客戶的合作。
表面處理儀 X射線衍射儀
Bruker ContourGT-X白光干涉儀
Bruker ContourGT-X白光干涉儀 產(chǎn)品信息
【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】
 
ContourGT-X 是實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和工業(yè)生產(chǎn)均可適用的高性能儀器。它積累了代產(chǎn)品在白光干涉技術(shù)上的創(chuàng)新,實(shí)現(xiàn)了快速地三維表面測(cè)量,從納米級(jí)表面粗糙度測(cè)量到毫米級(jí)臺(tái)階的測(cè)量,垂直分辨率可達(dá)亞納米級(jí)。可編程的 XYZ 控制和*的掃描頭自動(dòng)控制,使得儀器測(cè)試空間極大的拓展,多種自動(dòng)化功能,使操作使用簡(jiǎn)便易行。配備的 Vision64 軟件,具有業(yè)界的數(shù)據(jù)分析功能,其優(yōu)化設(shè)計(jì)的用戶界面為使用者自行定義測(cè)量和數(shù)據(jù)分析提供了極大的便利。內(nèi)部激光自校準(zhǔn)技術(shù)可以自動(dòng)校準(zhǔn)因環(huán)境或機(jī)械不穩(wěn)定產(chǎn)生的漂移,無(wú)需標(biāo)準(zhǔn)塊,減少使用成本保證測(cè)試的精準(zhǔn)度。
 
【主要應(yīng)用】
 
1、 用于較大范圍的樣品表面形貌、粗糙度、三維輪廓等特性的快速測(cè)量;
2、 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結(jié)構(gòu)、MEMS 器件關(guān)鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機(jī)械加工部件等領(lǐng)域的測(cè)量。
 
【主要參數(shù)】
 

垂直量程

0.1nm 至 10mm(閉環(huán)無(wú)拼接)

垂直分辨率

0.01nm

電動(dòng)樣品臺(tái)移動(dòng)范圍

±200mm (XY 軸 )/100mm(Z 軸 ),XYZ 三軸自動(dòng)

橫向取樣間隔

0.1µm 至 13.2µm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數(shù)決定 )

光學(xué)橫向分辨率

350nm

臺(tái)階測(cè)試精度

0.75%

臺(tái)階重復(fù)性

<0.1% 1σ

傾斜調(diào)整

自動(dòng)鏡頭調(diào)節(jié) ± 6°

垂直掃描速度

117um / 秒,用戶可自行設(shè)定

機(jī)器校準(zhǔn)方式

激光自校準(zhǔn)(可選)

聚焦功能

鏡頭自動(dòng)聚焦,自動(dòng)調(diào)節(jié)干涉條紋光強(qiáng)

 

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