研究型硅片顯微鏡 BMT-600
一、用途:
BMT-600明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時配有偏光裝置,及其高像素的數(shù)碼攝像頭.本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器. 硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機雜質(zhì)、無機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象,使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中*的檢測儀器之一.
二、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
類 別 | 放大倍數(shù) | 視場(mm) |
大視野目鏡 | 10X | φ18 |
2.物鏡
類 型 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑NA | 工作距離(mm) |
長工作距離平場消色差物鏡 | 5X(明場) | 0.12 | 18.3 |
10X(明暗場) | 0.25 | 8.9 | |
20X(明暗場) | 0.40 | 8.7 | |
40X(明暗場) | 0.60 | 3.7 | |
80X(明場) | 0.80 | 0.96 |
研究型硅片顯微鏡 BMT-6003.光學放大倍數(shù):50X -- 800X 系統(tǒng)參考放大倍數(shù):50X-5000X
4.濾色片組:黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6.載物臺:二層機械移動式(配有快速移動裝置) 尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm
7.粗微同軸調(diào)焦機構(gòu),微動手輪格值:0.002mm
8.落射照明器:6V/20W鹵素燈,亮度可調(diào)
9.防霉:*的防霉系統(tǒng)
10.成像系統(tǒng):500萬高像素的數(shù)字攝像頭或日本JVC攝像器
三、系統(tǒng)組成
硅片檢測顯微鏡(BMT-600E): 電腦型:1、硅片顯微鏡 2、適配鏡 3、攝像器(CCD) 4、A/D(圖像采集) 5、驅(qū)動軟件 6、數(shù)據(jù)線 7、計算機(選配)
四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測顯微鏡(BMT-600E):50--5000倍 (17寸顯示器為例)
五、選購件
1.硅片測量軟件 2.目鏡: 20X 10X(帶刻度)
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