透反射硅片顯微鏡BMT-300
一、用途：
透反射式硅片檢測顯微鏡BMT-300主要用于太陽能電池硅片的觀察.它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感強，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場范圍和相應的放大倍數(shù), 配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務.是太陽能電池硅片的普遍顯微鏡。硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進行質量控制zui普通的儀器.
二、技術參數(shù)
1.目 鏡
類型 | 放大倍數(shù) | 視場（mm） |
大視野目鏡 | 10X | Φ16 |
透反射硅片顯微鏡BMT-300 2.物 鏡
類 別 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑（NA） | 工作距離（mm） |
平場消色差物鏡（無蓋玻片） | 5X | 0.12 | 18.3 |
10X | 0.25 | 8.9 | |
40X | 0.60 | 3.7 | |
60X | 0.85 | 0.26 |
3.光學放大倍數(shù)：50X 100X 400X 600X 系統(tǒng)參考放大倍數(shù)：50X-4000X
4.載物臺：尺寸 185mm*140mm 移動范圍 75mm*50mm
5.調焦系統(tǒng)：帶限位和調節(jié)松緊裝置的同軸粗微動 微動格值 0.002mm
6.濾色片組：轉盤式，黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
7.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
8.照明系統(tǒng)：6V/20W鹵素燈，亮度可調；220V（50Hz）
9.防霉:*的防霉系統(tǒng)
10.成像系統(tǒng): 日本進口專業(yè)攝像頭或500萬高像素的數(shù)字攝像頭
三、系統(tǒng)組成
電腦型硅片檢測顯微鏡（BMT-300E）: 1、硅片顯微鏡 2、適配鏡 3、攝像器（CCD） 4、A/D（圖像采集） 5、驅動軟件 6、數(shù)據(jù)線 7、計算機（選配）
四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測顯微鏡（BMT-300E）：50--4000倍 （17寸顯示器為例）
五、選購件
1.硅片測量軟件 2.目鏡： 20X 10X（帶刻度） 3.物鏡：20X 80X
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