DVIA-U模塊化主動隔振平臺

DVIA-U系列
主動隔振底座和桌面平臺

經(jīng)濟有效
DIVA-UB，主動隔振基座平臺設計用于以有效的方式將掃描電子顯微鏡與地面振動隔離。

符合人體工程學的辦公桌服務各種應用

DIVA-UD主動隔振臺平臺設計用于將超精密儀器與低頻振動隔離。 人體工程學設計使用戶可以舒適地執(zhí)行要求的應用。 另外，桌子支架底部安裝腳輪和調(diào)平腳，使用戶可以將桌子放在所需的位置。

沒有空氣

DVIA-U系列不需要氣源來操作系統(tǒng)。 隔離器單元中的強力金屬彈簧不僅支撐重型有效載荷，還為高頻振動提供出色的被動隔振。

具有高分辨率的納米成像

如上圖所示，如果用戶由于振動而遇到模糊的圖像，則需要使用帶有DVIA-UB的SEM來獲得高分辨率的圖像。

克服了被動隔振系統(tǒng)的局限性

由于主動隔振系統(tǒng)不具備固有頻率，因此主動隔振系統(tǒng)可以降低1-10 Hz的低頻振動，其中低頻振動會嚴重干擾納米級成像。 另一方面，無源隔離系統(tǒng)由于其固有頻率而放大低頻振動。

控制亞赫茲振動
DVIA-U非常有效地將超精密儀器與1-10 Hz的環(huán)境振動隔離，振動敏感的精密儀器趨向于不穩(wěn)定和破壞性，無法產(chǎn)生結(jié)果。 DVIA-U在0.6 Hz時開始隔離，在10 Hz時提供±99％的振動隔離。

反饋和前饋算法

DVIA-MB使用反饋控制系統(tǒng)連續(xù)檢測干擾隔離有效負載基座的振動，并即時作出反應，以實時最小化振動。 DVIA-MB采用前饋系統(tǒng)，以預定義的方式濾除地面振動。

控制所有六個自由度的振動

安裝在主動隔振系統(tǒng)中的慣性傳感器和VCM執(zhí)行器通過三個平移運動（X，Y和Z）以及三個旋轉(zhuǎn)運動（俯仰，滾轉(zhuǎn)和偏航）來檢測和控制振動。

每個安裝地點都有不同的振動級別，表明每個安裝地點都需要調(diào)整。 因此，我們提供現(xiàn)場調(diào)試，以有效地利用反饋和前饋控制系統(tǒng)，這是控制1-10 Hz范圍振動的關鍵因素。 沒有調(diào)整，主動隔離系統(tǒng)不能提供的主動隔離性能。

應用領域

掃描電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、特高壓掃描隧道顯微鏡、干涉、其他高精度儀器