技術(shù)參數(shù) | |
樣品室大小 | 直徑120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75") |
靶材 | Au 靶為標(biāo)配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);大小:直徑57mm x 0.1mm厚 |
樣品臺(tái) | 可以裝載12個(gè)SEM樣品座,高度可調(diào)范圍為50mm |
濺射控制 | 微處理器控制,安全互鎖,可調(diào),電流40mA,程序化數(shù)字控制 |
濺射頭 | 低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩 |
模擬計(jì)量 | 真空: Atm - 0.001mbar |
厚度監(jiān)控 (選件) | 使用MTM-20高分辨厚度控制儀(選件)自動(dòng)終止濺射過程,或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀(選件)手動(dòng)終止濺射過程 |
控制方法 | 自動(dòng)氣體換氣和泄氣功能,自動(dòng)處理排序,帶有“暫停”控制的數(shù)字定時(shí)器(0-300s),自動(dòng)放氣 |
桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺(tái)上,全金屬集成耦合系統(tǒng) |
銅網(wǎng)鍍碳制成負(fù)染色蛋白質(zhì)樣品案例