此款JYSC-1000型小型磁控離子濺射儀主要用于SEM制樣樣品鍍導(dǎo)電膜(如金膜)或材料鍍膜,儀器性能穩(wěn)定,操作簡單方便。采用磁控冷態(tài)濺射,基本不升溫,限度保護(hù)樣品。
主要特點(diǎn):
² 顯示操作面為30°斜面,充分考慮操作的便捷和視覺體驗(yàn),方便觀察操作;
² 真空泵連接管路為金屬波紋管,美觀耐用;
² 微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確,帶有刻度標(biāo)識;
² 真空泵抽速快,噪音低,適合實(shí)驗(yàn)室使用;
² 控制電路為控制板,工作穩(wěn)定可靠;
² 顯示控制操作部分布局合理,位于同側(cè),使用方便;
² 磁控冷態(tài)濺射,基本不升溫,限度保護(hù)樣品;
技術(shù)參數(shù):
1.樣品室空間:直徑120mm×高110mm
2.Au靶為標(biāo)配,靶材尺寸:φ50mm×0.1mm
3.獨(dú)立真空控制電路設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)真空度和濺射電流,安全互鎖,可調(diào)電流40mA;
4.侵入式磁控低溫離子源,可快速更換靶材,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩;
5.使用獨(dú)立計(jì)時(shí)控制器,精準(zhǔn)計(jì)時(shí),可調(diào)設(shè)置范圍:1-500秒,連續(xù)可調(diào)
6.自動真空泄氣功能,自動排氣,可通過數(shù)字定時(shí)器進(jìn)行控制
7.進(jìn)口真空泵,抽速8.5m3/h,噪聲不大于48dB,可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統(tǒng)
8.微型真空氣閥:高精度微量流量閥,精度±0.1Pa