直流濺射工作原理:
1.低氣壓下(一定的真空度)氣體的輝光放電現(xiàn)象:
2. 靶材接高壓,本設(shè)備為-2400V,為負極;樣品臺接地,為正極;
3. 靶材與樣品臺之間形成電場,電離氣體,可用空氣、Ar、N2;
4.氣體電離后,正離子飛向負極,轟擊靶材,靶材原子被濺射飛出,沉積到樣品上形成導(dǎo)電膜;
5.電子或負離子在電場的作用下,飛向樣品臺,會加熱樣品,濺射電流10mA,濺射時間1分鐘,樣品臺溫度約為60℃
工作特點:濺射電流隨壓力變化,壓力升高,濺射電流才能增加;
壓力升高、電流變大、濺射顆粒變大,熱損傷隨之加劇。
應(yīng)用領(lǐng)域:非熱敏性樣品,如無機鹽類粉體等,性價比較高
適用于普通鎢燈絲掃描電鏡、臺式電鏡等
GVC-1000/1200離子濺射儀
金靶
顆粒尺寸20~50nm
產(chǎn)品特點:
一、安全
1.高壓線多重防護,外加8×5透明真空管,安全;
2.外殼良好接地;
3.真空互鎖;
4.電流>50mA,真空度超過100Pa,系統(tǒng)自動切斷濺射;
5.實體按鍵,安全;
6.濺射頭采用阻尼設(shè)計,任意位置懸停
二、信息量大
1.濺射過程中真空度和濺射電流以曲線方式實時顯示,簡單直觀;
2.靶材使用時間,儀器使用時間系統(tǒng)自動記錄,直觀了解設(shè)備的運行狀態(tài)。
三、快速上手
設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)В诓僮魅藛T更換時,無需培訓(xùn),即可快速熟練操作設(shè)備。
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