CT-010噴碳模塊主要應用于CUU-010高真空噴金儀，這種集成化設計的插入式碳蒸發(fā)模塊為碳涂層設定了新的標準。CT-010模塊可以插入CCU-010低壓和CCU-010 高壓基本單元，立即準備就緒。應用包括掃描電鏡，透射電鏡和任何其他需要高質量碳膜的工藝。

   CT- 010采用，*和技術的碳纖維纏繞系統(tǒng)。這樣就可以在不改變碳源的情況下進行多達50次的涂層。曾經(jīng)一次 碳纖維部分已蒸發(fā)，一個新的部分被自動推進，廢纖維落入一個方便的集水盤。除了易 于使用外，自動纏繞系統(tǒng)還允許在一個工藝循環(huán)中控制沉積任何厚度的碳膜。易于選擇的涂層模式可實 現(xiàn)安全的涂層，從溫敏樣品薄膜的溫和蒸發(fā)到具有 高功率，適用于光纖應用中的厚層。智能功率控制與 脈沖蒸發(fā)、自動快門后面的脫氣和膜厚監(jiān)測相結合，提供準確的層厚，并避免任何可能導致表面不均勻的起泡現(xiàn)象。

模塊特點：

       ·   采用創(chuàng)新性的自動跟蹤系統(tǒng)（專li技術）監(jiān)控zui多2米長的碳絲，通過卷軸收放碳絲。
       ·   以“常規(guī)”和“柔和”模式發(fā)送脈沖電涌，非常容易地在樣品上實現(xiàn)快速鍍膜和高精度碳鍍膜，以滿足各種需要。
       ·   設有氣體控制器，把用于輝光放電的空氣精確地輸送到基片的表面上。
       ·   通過精確地等離子體輸出控制，可以廣泛應用在改造各種樣品的表面性質上。

       ·   采用統(tǒng)一的電氣和氣體接口，與CCU-010 HV和CCU-010 LV主體機配套使用。

指 標 參 數(shù)

　　　　　外形尺寸： 250× 160×80 (mm）        模塊重量   ：2.6kg

　　　　　靶材尺寸： 碳繩                                   控制模式： 微處理器控制

　　　　　功率： 450W                                  濺射電流： 10-20A

　　　　　濺射時間： ≤900s                                濺射氣體 ： 氬氣、空氣等（可選）