抗粘 劑鍍膜機(jī),抗粘劑蒸鍍機(jī)的必要性
在納米壓印工藝中模具在進(jìn)行壓印前要進(jìn)行預(yù)處理,當(dāng)模具壓印光刻膠后脫模時(shí),有2種可能,一種是模具可*脫離,壓印膠圖形完整保留;一種是模具和壓印膠粘在一起脫模過程中膠也被帶起來,使得壓印圖形無法保留,而這些粘在模具上的膠也會(huì)污染模具。因此模具在使用前,要涂一層抗粘劑,使得模具和壓印膠之間的粘附性變差,使脫模過程變得容易。
抗粘劑鍍膜機(jī),抗粘劑蒸鍍機(jī),抗粘劑氣相涂布機(jī)適用范圍
半導(dǎo)體,光電、電子行業(yè)硅片或石英硬模板等材料,如制備各種微納電子器件、光學(xué)器件、光電器件、存儲(chǔ)器、微流體通道、生物芯片等微納結(jié)構(gòu)制備方面的應(yīng)用。
抗粘 劑鍍膜機(jī),抗粘劑蒸鍍機(jī)主要技術(shù)參數(shù)
3.1 工作室尺寸: 350×350×350(mm)
3.2 材質(zhì): 外箱優(yōu)質(zhì)SUS#304不銹鋼,內(nèi)腔采用316L醫(yī)用不銹鋼
3.3 溫度范圍 :RT+20-450℃
3.4 溫度分辨率: 0.1℃
3.5 溫度波動(dòng)度 :≤±0.5
3.6 真空度: ≤20torr
3.7 潔凈度 :設(shè)備采用無塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境
3.8電源及總功率 :
3.9 控制儀表 人機(jī)界面
3.10擱板層數(shù) 1層
3.11真空泵 無油泵
3.12 保護(hù)裝置 超溫保護(hù),漏電保護(hù),過熱保護(hù)等