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廣電計量檢測集團股份有限公司

微型PECVD系統(tǒng)BTF-1200C-S-PECVD 實驗室臭氧發(fā)生機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱重慶開衡科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/5/30 9:58:35
  • 訪問次數(shù)178
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重慶開衡科技有限公司成立于2011年,是由一批有著高等學歷、優(yōu)良品質(zhì)、豐富經(jīng)驗的專業(yè)人士組建的一家客戶驅(qū)動型企業(yè)。 公司自成立以來,不斷拓寬資源渠道,完善產(chǎn)品結(jié)構(gòu),積累專家智庫,提高本地化服務(wù)水平。致力打造科學研究、分析檢測相關(guān)實驗室設(shè)備和消耗品“一站式”采購平臺,幫助客戶建設(shè)一個完備可靠的實驗室。 一個渠道,無限解決方案。開衡科技提供所有實驗室儀器和設(shè)備的支持和供應(yīng)管理,不限生產(chǎn)廠家,憑借我們專業(yè)技術(shù)和服務(wù)能力,幫助客戶用更少資源和更低成本提高生產(chǎn)力。 我們的產(chǎn)品包括:天平、箱類控溫系統(tǒng)、離心機、加壓電泳液相色譜、離子色譜、水質(zhì)檢測儀器、樣品低溫存儲設(shè)備、細胞培養(yǎng)設(shè)備、樣品離心及濃縮處理系統(tǒng)、微孔板分析儀器、實驗室純水、恒溫產(chǎn)品、質(zhì)量控制檢測設(shè)備、自動化設(shè)備、移液器,以及實驗室塑料制品和玻璃器皿、色譜柱、訂制實驗室家具等等。 開衡科技以豐富的選擇,便捷的網(wǎng)絡(luò),迅速有效的售后服務(wù),為重慶地區(qū)各大專院校、科研院所、工業(yè)單位,涉及制藥、環(huán)監(jiān)、食品、農(nóng)業(yè)、醫(yī)學、化工、石化、材料、電子等行業(yè)的科技工作者提供服務(wù)和支持。多年實干,公司在用戶中已贏得廣泛贊譽,并成為重慶地區(qū)科學儀器行業(yè)內(nèi)受尊敬的供應(yīng)商之一。
實驗室儀器設(shè)備,,
PECVD系統(tǒng)(PlasmaEnhancedChemicalvaporDeposition)微型PECVD系統(tǒng),它包括小型真空管式爐,石英真空室、真空抽氣與真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、物料噴射系統(tǒng)
微型PECVD系統(tǒng)BTF-1200C-S-PECVD 實驗室臭氧發(fā)生機 產(chǎn)品信息
PECVD 系統(tǒng)(Plasma Enhanced Chemical vapor Deposition)

微型PECVD系統(tǒng),它包括小型真空管式爐,石英真空室、真空抽氣與真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、物料噴射系統(tǒng)。電源范圍寬:0-100W可調(diào); 溫度范圍寬:100-1200度可調(diào);濺射區(qū)域?qū)挘?-600mm可調(diào);適用范圍寬:金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜,連續(xù)生長各種薄膜等。增加功能容易,可擴展等離子清洗刻蝕等功能。

主要特點

1. 薄膜沉積速率高:采用了甚高頻技術(shù),大大的提高了薄膜的沉積速率,沉積速率可達10?/S;
2. 大面積均勻性高:采用了*的多點射頻饋入技術(shù),特殊氣路分布和加熱技術(shù)等,使得薄膜均勻性指標達到8%;
3. 一致性高:用半導體行業(yè)的*設(shè)計理念,使得一次沉積的各基片之間偏差低于2%;
4. 工藝穩(wěn)定性高:高度穩(wěn)定的設(shè)備保證了工藝的連續(xù)和穩(wěn)定;

5. 選配物料噴射系統(tǒng),可將原料直接噴射到反應(yīng)區(qū)。

6.號:ZL.0 (產(chǎn)品,防偽必究)。

技術(shù)參數(shù)

真空管式爐

爐管尺寸:

外徑Φ50×700mm

極限溫度:

1200℃

溫度控制器:

PID自動控制晶閘管(可控硅)輸出功率,30段可編程控制器

Z快升降溫速率:

60

加熱區(qū):

230mm

恒溫區(qū):

100mm

溫度精度:

±1℃

電源:

單相220V,交流50Hz

多通道流量計控制系統(tǒng)

標準量程:

100,200SCCM;(以氮氣標定,除以上標準外量程可選)

準確度:

±1.5%

工作壓差范圍:

0.1~0.5 MPa

Z大壓力:

3MPa

接頭類型:

Φ6雙卡套不銹鋼接頭

高真空系統(tǒng)

泵體積流量N2

33 L/S

壓縮比:

≥1011mbar

實驗真空值:

≤10-6mbar

功率消耗:

140W

啟動時間:

2min

電源要求:

185-265V AC

射頻電源

信號頻率:

13.56MHz±0.005%W

功率輸出范圍:

0-100W

Z大反射功率:

10W


關(guān)鍵詞:溫度控制器 流量計
15700106413
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