性能指標(biāo)
- 能量分辨率：0.48eV/(Ag 3d5/2），0.68eV/(C 1s)（PET 上O-C=O 的C 1s）
- 最小分析區(qū)域（收譜） <10μm
- 靈敏度（Ag 3d5/2） ：大面積 11,800kcps (1.3eV )
- 空間分辨率 (快速平行成像 )：小于3μm
- 空間分辨率(掃描成像)：15μm 和27μm
主要應(yīng)用
- 儀器具有高能量分辨率和高檢測(cè)靈敏度。
- 主要應(yīng)用于各種有機(jī)和無(wú)機(jī)固體材料的表面元素及其價(jià)態(tài)定性、定量分析，表面元素化學(xué)成像及深度剖析；可用于腐蝕、摩擦、浸潤(rùn)、粘接、催化、包覆、氧化等表面和界面過(guò)程的研究。
樣品要求
- 不能被測(cè)試的樣品種類： 放射性的樣品；具有強(qiáng)磁性樣品（注意：易被磁化或弱磁性粉末材料需要被壓成片后方可送樣，易被磁化或弱磁性片狀樣品可以直接送樣）； 在制樣過(guò)程中容易快速潮解的樣品；真空條件下可以釋放大量氣體，尤其釋放出的氣體對(duì)不銹鋼具有腐蝕性的樣品，比如可以釋放出HCl+H2O；有化學(xué)毒性和生物毒性的樣品；在X光照射下會(huì)分解的樣品。另外， 含有F和I元素的樣品需要和測(cè)試?yán)蠋熓孪葴贤ㄒ源_認(rèn)是否可以送樣。
- 樣品物性/外形/尺寸 (1)導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體均可以； (2)對(duì)絕緣體和半導(dǎo)體一般只適合粉末、薄膜、薄片（樣品厚度1 mm以內(nèi)）， 不適合塊體； (3)粉末樣品要求顆粒越細(xì)越好； (4)對(duì)于導(dǎo)體塊狀（不規(guī)則形狀時(shí)）樣品，需要送樣人將樣品加工成片狀，上下面互為平行面； (5)特殊樣品形狀，例如，纖維、大顆粒、小圓棒（尺寸大小在微米到幾個(gè)毫米之間），可以直接送樣。
- 樣品用量： (1)粉末、大顆粒、小圓棒：體積大于0.2 mL；如果需要壓片時(shí)（有利于做定量分析），送樣量(體積)應(yīng)適當(dāng)增加到0.75-1 mL； (2)薄膜及片狀樣品：長(zhǎng)×寬在~6 mm × 6 mm以內(nèi)，厚度不大于1 mm； (3)塊體： 長(zhǎng)×寬 在~6 mm × 6 mm以內(nèi)；厚度不大于3 mm； (4)注意： UPS的樣品需要尺寸大一點(diǎn)，長(zhǎng)寬在12 mm × 6 mm左右，厚度不高于1.5 mm； (5)變角和深度剖析的樣品，長(zhǎng)寬在12 mm × 12 mm左右，厚度都不高于3 mm。
- 送樣時(shí)注意事項(xiàng)： (1)送樣品時(shí)請(qǐng)附上打印的預(yù)約單，所有樣品在送樣之前必須提前進(jìn)行真空干燥或者冷凍干燥，粉末樣品必須研磨均勻； (2)樣品中不得含有乙酸乙酯、氯仿、二氯甲烷、苯、環(huán)己烷、DMSO等有機(jī)試劑, 待測(cè)試的樣品表面不能被沾污（如手摸拿，碰觸污染物等）； (3)易被氧化或易吸水樣品，在送樣過(guò)程中應(yīng)注意隔離空氣（如放保干器， 或高純Ar氣袋 ），或事先與我們聯(lián)系，商量解決辦法； (4)用帶蓋的玻璃小試管、小容量瓶等容器裝樣；不要直接使用塑料容器、塑料袋、含硅的膠帶或膠面和紙袋，以免硅樹(shù)脂或纖維污染樣品表面。也可以使用干凈的鋁箔直接包裹樣品后放入干凈的玻璃器皿中送樣； (5)如果高分子材料中含有殘余的揮發(fā)性有機(jī)試劑分子或小分子單體，務(wù)必先行在真空烘箱中抽除這些物質(zhì)。如果樣品置入XPS預(yù)抽真空腔體內(nèi)，經(jīng)過(guò)一夜抽真空后依然無(wú)法抽至5×10E-7torr以下，該樣品的測(cè)試將被取消； (6)對(duì)薄膜、片狀、塊體樣品標(biāo)記出測(cè)試面；千萬(wàn)注意：不能使用墨水筆在樣品上標(biāo)記測(cè)試面，以免墨水中的有機(jī)試劑污染待測(cè)樣品表面?。。。粚?duì)于金屬，半導(dǎo)體，高分子材料片狀或者塊狀樣品，建議使用刀片或金剛石刻刀在不測(cè)的一面畫＂＋＂字； 另外，樣品袋上要用標(biāo)簽紙標(biāo)上預(yù)約人姓名； (7)寫明分析測(cè)試的要求，如定性（元素種類，元素價(jià)態(tài)等），定量（樣品中元素相對(duì)百分含量）等。如果樣品有易磁化，易變性（如被氧化，吸附等）等情況應(yīng)說(shuō)明清楚； (8)復(fù)雜測(cè)試時(shí)，初次實(shí)驗(yàn)需要決定分析條件情況，送樣者若能到場(chǎng)，可能有助于測(cè)試的進(jìn)行。
儀器說(shuō)明
- AXIS Ultra DLD（日本島津Kratos公司）多功能X射線光電子能譜儀可以提供有關(guān)固體表面和界面的化學(xué)信息?？梢苑治龀龤?、氦以外的所有元素，包括元素種類及價(jià)態(tài)。并可以提供測(cè)定元素相對(duì)含量的半定量分析。
- 廣泛應(yīng)用于研究聚合物、無(wú)機(jī)化合物、有機(jī)化合物、催化劑、涂層材料、納米材料、礦石等各種材料。結(jié)合其它表征技術(shù)，可以對(duì)腐蝕、摩擦、潤(rùn)滑、燃燒、粘接、催化、包覆、氧化等過(guò)程進(jìn)行研究。有特色的是XPS可以測(cè)定元素的化學(xué)價(jià)態(tài)及化學(xué)環(huán)境的影響。
- 通過(guò)角分辨法及Ar離子剝離法可以提供元素深度分布信息。 主要用于固體樣品表面的組成，能進(jìn)行定性、半定量分析。該儀器已對(duì)上海交通大學(xué)的材料科學(xué)與工程學(xué)院、化學(xué)化工學(xué)院、物理與天文系、機(jī)械與動(dòng)力工程學(xué)院、電子信息與電氣工程學(xué)院、微納科學(xué)技術(shù)研究院、生命科學(xué)技術(shù)學(xué)院，農(nóng)業(yè)與生物學(xué)院，藥學(xué)院，密西根學(xué)院及多家校外企事業(yè)單位提供了測(cè)試服務(wù)。
- 該儀器在分析表面化學(xué)上的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，為上海交大在涂層材料、納米材料、催化劑、礦石材料學(xué)、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究提供了一定的分析檢測(cè)的技術(shù)支持。
