隨著綠色能源太陽能的大規(guī)模開發(fā)利用，光伏電池原料多晶硅的用途越來越廣泛，隨著我國多晶硅總產(chǎn)量的逐年增多，多晶硅生產(chǎn)的副產(chǎn)物四氯化硅的安全和環(huán)保問題日益突出，如何安全處理四氯化硅已成為關(guān)系到多晶硅產(chǎn)業(yè)能否健康發(fā)展的關(guān)鍵問題。

我公司研究開發(fā)的新一代廢氣四氯化硅凈化設(shè)備，四氯化硅是多晶硅生產(chǎn)中產(chǎn)生量較大的副產(chǎn)物，未經(jīng)處理回收的四氯化硅是一種具有強(qiáng)腐蝕性的有毒有害液體，對(duì)安全和環(huán)境危害很大。我公司科技人員廢氣處理專題組經(jīng)過多年的刻苦攻關(guān)，成功地將多晶硅生產(chǎn)線的副產(chǎn)物三氯氫硅、二氯二氫硅和四氯化硅，采用濕法回收成沉淀型二氧化硅和鹽酸，既解決了環(huán)保問題，又將廢物回收進(jìn)行了再利用。

1、處理?xiàng)l件

主要成份為四氯化硅、三氯氫硅和二氯二氫硅。

2、處理結(jié)果

回收二氧化硅和鹽酸，排放廢氣達(dá)到GB16297-1996排放標(biāo)準(zhǔn)。

3、本回收處理系統(tǒng)突出優(yōu)勢(shì)

我公司生產(chǎn)的本設(shè)備所轉(zhuǎn)產(chǎn)的二氧化硅經(jīng)國家有關(guān)檢測(cè)部門檢測(cè)，SiO2純度達(dá)到99.65%。本項(xiàng)技術(shù)已獲得國內(nèi)獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)，證號(hào)；ZL.4。

工藝組成

由蒸發(fā)分離工段、水解工段、吸收工段、壓濾工段、干燥工段組成。

工作原理

（1）蒸發(fā)分離工段

液態(tài)的四氯化硅經(jīng)加壓泵從儲(chǔ)罐泵入蒸發(fā)釜，釜下設(shè)蒸發(fā)器和再沸器，釜上為分離塔。蒸發(fā)器和再沸器外設(shè)夾套內(nèi)設(shè)盤管，蒸汽在夾套和盤管內(nèi)加熱，四氯化硅在釜內(nèi)氣化。氣態(tài)的四氯化硅通過再沸器的出口排出，經(jīng)管道進(jìn)入水解塔。

（2）水解工段

四氯化硅氣體進(jìn)入水解塔內(nèi)與來自壓濾系統(tǒng)的濾液進(jìn)行反應(yīng)。液相經(jīng)霧化器霧化向下噴淋，與進(jìn)入噴淋塔內(nèi)的氣態(tài)四氯化硅發(fā)生水解反應(yīng)，生成硅酸、鹽酸以及未*吸收的氣體。硅酸與的固液混合物流到水解塔底部進(jìn)入料漿池，經(jīng)管道分批送至壓濾系統(tǒng)；大量氣體及少量硅酸去分離釜，使氣體能夠形成穩(wěn)定的氣流，去降膜吸收系統(tǒng)。

（3）吸收工段

自分離釜來的氣體進(jìn)入降膜吸收系統(tǒng)及填料吸收系統(tǒng)，吸收為不同濃度的鹽酸。

（4）壓濾工段

四氯化硅水解反應(yīng)生成的二氧化硅和固液混合物經(jīng)攪拌洗滌后進(jìn)入壓濾機(jī)中進(jìn)行壓濾，末了濾餅送干燥系統(tǒng)。

（6）干燥工段

在干燥工段將含有大量水蒸氣及少量物料顆粒的濾餅進(jìn)入干燥系統(tǒng)的旋風(fēng)分離器和布袋除塵器。經(jīng)過旋風(fēng)分離器，固體物料進(jìn)入儲(chǔ)料池中，熱空氣向上運(yùn)動(dòng)再通過脈沖袋式除塵器回收小部分物料后達(dá)標(biāo)排放。

選型說明

本系統(tǒng)需根據(jù)用戶提供的四氯化硅成分、介質(zhì)濃度、處理指標(biāo)要求等進(jìn)行設(shè)計(jì)，由我公司設(shè)計(jì)人員進(jìn)行選型。

使用領(lǐng)域

本項(xiàng)成套設(shè)備用于多晶硅、單晶硅、太陽能發(fā)電、三氯氫硅合成等行業(yè)，處理四氯化硅、三氯氫硅和二氯二氫硅并回收再利用。