概要
CS-153是一款高精度的化學(xué)藥液濃度計，適用于半導(dǎo)體制造中濕法蝕刻制程的嚴(yán)苛要求。蝕刻制程使用FPM藥液刻蝕二氧化硅和去除晶圓表面的顆粒。CS-153可持續(xù)監(jiān)測FPM藥液(HF/H2O2/H2O)中各個成分，在每一次藥液需要替換或補(bǔ)充時向用戶發(fā)出信號。因此可使FPM藥液的濃度保持在一個適當(dāng)?shù)姆秶胁⒖杀苊獠槐匾乃幰禾娲?/p>
特征
- 監(jiān)測周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理
實現(xiàn)了以大約2秒為監(jiān)測周期(*)的高速響應(yīng)。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。
*不包含藥液的置換時間、冷卻時間
- 小巧化設(shè)計有利于節(jié)省清洗裝置的空間由于底面面積只有原來的2/3(*)左右，這種小巧化設(shè)計有利于清洗裝置節(jié)省空間。可以很容易地組裝到清洗裝置中。
*和本公司產(chǎn)品CS-327系列進(jìn)行比較
- 通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量
通過濃度計的信號輸出，進(jìn)行FPM溶液的補(bǔ)給控制，從而實現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進(jìn)產(chǎn)量的全面提高。
- 全自動監(jiān)測與簡易控制
用戶只需引入FPM溶液即可。監(jiān)測是全自動方式，因此開始監(jiān)測后不需要進(jìn)行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，所以不需要用水。
- 通過采取全面的氣泡對策
在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測過程中進(jìn)一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在限度。
- 采用DC24V，實現(xiàn)高安全性
電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時可以切斷SC-1溶液的供應(yīng)等，采取緊急措施。
規(guī)格
型號規(guī)格 | CS-153: 無冷卻單元 |
測量樣品 | FPM(HF/H2O2藥液) |
測量原理 | 吸收光譜測定法 |
濃度計算原理 | 溫度補(bǔ)償型多變量解析法 |
測量范圍 | HF: 0.00至10.00% |
再現(xiàn)性 | TMAH: ± 0.30% |
藥液條件 | CS-153: |
測量周期 | 最小約 2 秒 |
設(shè)備溫度 | 20 至25°C |
操作面板 | 1) 溫度值顯示: HF、過氧化氫、水 |
串行輸入/輸出 | RS-232C |
并行輸出 | 開路集電極輸出為ON 時的電流：5mA |
模擬輸出 | 4?20mA(2輸出：TMAH濃度、H2O2濃度的2輸出) |
電源 | 24 V DC ± 10%, 2 A |
外形尺寸 | CS-153: 205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm |
重量 | CS-153: 約11 kg |
連接配管尺寸 | 導(dǎo)入用、排出用外徑均為3mm(內(nèi)徑均為2mm ) |
配管接頭 | Nippon Pillar Super型 |
