四探針電動測試架主機技術(shù)能數(shù)
(4)供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:40W
(5)使用環(huán)境:
溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%
無較強的電場干擾,無強光直接照射
(6)重量、體積:
主機重量:30kg
體積:300×400×400(單位:mm 長度×寬度×高度)
電動架是使用步進電機驅(qū)動,采用單板機可編程控制,操作方便,可隨意調(diào)節(jié)探頭的下降zui低點,上升zui高點固定,探頭在zui高zui低點的停留時間范圍廣(從0-19秒)。硅片硅錠均可測量,zui大測量高度為90mm(可按用戶要求加高),測試臺zui大直徑200mm。