兩探針電阻率測試儀主機技術(shù)參數(shù)
（1）測量范圍：
     可測硅晶體電阻率：0.005-50000Ω•cm
     可測硅棒尺寸：zui大長度300mm；直徑20mm（均可按用戶要求更改）。
（2）恒流源：
     輸出電流：DC0.001-100mA  五檔連續(xù)可調(diào)
     量程：0.001-0.01mA（1-10μA）
           0.01-0.1mA（10-100μA）
0.1-1.0mA 
           1.0-10mA
           10-100mA
恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
     測量范圍：0-199.99mV
     靈敏度：10μA
     基本誤差：±（0.004%讀數(shù)±0.01%滿度）
     輸入阻抗：≥0.3%
（4）電阻測量誤差：≤0.3%
（5）兩探針頭：KDT-9
     探針間距：1.59±0.01mm   探針直徑Φ0.8mm
     游移率：＜0.2%           探針材料：硬質(zhì)合金（WC）
     探針壓力：3±1N/單針
（6）供電電源：
     AC   220V   ±10%    50/60   Hz.   功率：12W
（7）使用環(huán)境：
     溫度：23±2℃   相對溫度：≤65%
     無較強的電場干擾，無強光直接照射。
（8）重量、體積：
     主機重量：7.5Kg
    體積：390×340×190（單位：mm  長度×寬度×高度）

兩探針電阻隔率測試儀（以下簡稱兩探針儀）是按照我國國家標準及美國材料與試驗協(xié)會（ASTM）*的材料驗收檢測方法“兩探針法”設計。它適合于測量模截面尺寸是可測量的，而且棒的長度大于橫截面線度的有規(guī)則的長棒，例如橫斷面為圓形、正方形、長方形或梯形的單晶或多晶錠。