多晶硅鑄錠爐
型號：ZG-450D
詳細(xì)描述：
一. 設(shè)備用途：本設(shè)備為產(chǎn)品，采用電阻加熱方式，底部進(jìn)出料結(jié)構(gòu)。一次裝入多達(dá)450Kg/500kg（視坩堝尺寸而定）多晶硅原料，用于多晶硅料的鑄錠。
二. 設(shè)備特點(diǎn)：
1、 爐底設(shè)有防漏硅裝置及防爆裝置；
2、 溫度梯度好，拉出硅棒效果好，雜質(zhì)少；
3、 爐底升降采用機(jī)械傳動機(jī)構(gòu)，定向結(jié)晶通過爐內(nèi)升降機(jī)構(gòu)，伺服機(jī)構(gòu)保溫罩升降平穩(wěn)，操作方便
4、 本產(chǎn)品重要部件已獲得，一種帶可升降式保溫罩的多晶硅鑄錠爐；實(shí)用新型.5；一種帶水冷式雙電極和軟電纜的多晶硅爐；實(shí)用新型.2；發(fā)明.7。
三. 技術(shù)參數(shù)：
1.額定功率：200KW
2.常用溫度：1500℃，高溫度：1600℃
3.冷態(tài)極限真空度：＜1Pa
4.坩堝尺寸：870×870×420（L×W×H）mm
5、大鑄錠重量: 450Kg
6.移動隔熱屏大位移量：380（mm）
7.移動隔熱屏提升速度： 5～100mm/h(可調(diào))
