工作原理
離子減薄制樣技術(shù)屬于離子束加工范疇。其方法是用高能離子束轟擊樣品表面、高能離子與樣品表面原子發(fā)生彈性碰撞、樣品表面原子能量增大至高于該原子逸出功時,便飛離樣品,從而使樣品逐漸減薄。離子減薄儀通常用雙槍從樣品兩側(cè)轟擊。樣品隨著支架旋轉(zhuǎn),使得離子束轟擊均勻。
產(chǎn)品描述
GL2011型離子減薄儀由國內(nèi)專家精心設(shè)計制作,性能穩(wěn)定,應(yīng)用廣泛,可對金屬、非 金屬、陶瓷、礦物、半導(dǎo)體、骨骼、牙齒等幾乎所有固體材料進行精密減薄處理。
產(chǎn)品特點
全自動電腦操控,通過鼠標(biāo)/電腦觸摸屏即可完成所有操作
無線信號傳輸,200米范圍內(nèi)遠程操作,方便舒適
自動識別樣品穿孔并停止減薄過程、自動停機
多功能精密樣品臺,兼具離子減薄和離子拋光功能
薄軸承式樣品臺,無離子束阻擋,高效率
分子泵真空系統(tǒng),樣品清潔,樣品信息真實可靠
精密設(shè)計,防誤操作系統(tǒng),防止損壞分子泵系統(tǒng)
離子流(氬氣流)采用質(zhì)量流量計控制,調(diào)整精確平穩(wěn)
技術(shù)指標(biāo)
離子束加速電壓:連續(xù)可調(diào),0~10kV
品為銅時,減薄速度:30μm/小時(銅樣品)
不送氣時真空度:10-3 Pa
離子束對樣品的最小傾角:
7°(普通試樣臺), 2°(拋光試樣臺)
減薄效果
案例說明:
樣品為約100u的鋁箔,表面為鋁的氧化物。用化學(xué)方法或者物理摩擦的方法減薄,都會非常明顯的破壞樣品表面形貌,甚至改變樣品化學(xué)成分。
使用GL-2011型離子減薄儀減薄后,在電子顯微鏡下可以觀察到,樣品沒有任何變形,而且獲得清晰的樣品圖像。
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