藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐又稱(chēng)藍(lán)寶石單晶體生長(zhǎng)爐,洛陽(yáng)西格馬可生產(chǎn)全自動(dòng)晶體生長(zhǎng)爐、晶體提拉爐、晶體高溫爐、晶體生長(zhǎng)爐、結(jié)晶爐。
一、藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐產(chǎn)品用途
藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐主要用作晶體材料的結(jié)晶生長(zhǎng)。本系列產(chǎn)品在各溫度環(huán)境下,可以分別實(shí)現(xiàn)坩堝上升法、提拉法、泡生法等多種晶體生長(zhǎng)工藝,并可通簡(jiǎn)易氣氛(氮?dú)?、惰性氣體)。
二、藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐產(chǎn)品結(jié)構(gòu)
藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐包括生長(zhǎng)爐體、加熱系統(tǒng)、坩堝、隔熱材料、密封機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)、晶籽棒、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、測(cè)溫系統(tǒng)等。石晶體生長(zhǎng)爐包括爐體、真空機(jī)組及發(fā)熱體,真空機(jī)組與爐體內(nèi)部連通,發(fā)熱體設(shè)置在爐體內(nèi),爐體內(nèi)還設(shè)有隔熱屏、溫區(qū)分隔板、溫度傳感器、料盤(pán)及傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。
三、藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐技術(shù)特點(diǎn)
藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐是洛陽(yáng)西格馬高溫電爐公司自行研制開(kāi)發(fā)的高性能新型特種電爐,采用多段可編程式溫度控制器全過(guò)程自動(dòng)控制溫度,產(chǎn)品結(jié)構(gòu)新穎,操作簡(jiǎn)便,綜合性能指標(biāo)較高,處于國(guó)內(nèi)水平,是理想的晶體生產(chǎn)裝備。
1)采用ZrB2陶瓷-石墨組合發(fā)熱體,可提供2200℃的高溫,與傳統(tǒng)的石墨發(fā)熱體電阻爐和鉬絲爐相比,節(jié)能50%以上;
2)升溫速度快,升至2200℃僅需250分鐘。
3)熱電偶采用ZrB2復(fù)合陶瓷溫度傳感器或者是ZrC復(fù)合陶瓷溫度傳感器,提高了測(cè)溫的精度高;
4)爐體內(nèi)分隔成四個(gè)溫度場(chǎng),通過(guò)熱電偶監(jiān)測(cè)四個(gè)溫度場(chǎng)的溫度并進(jìn)行調(diào)節(jié),以使其具有較的溫度梯度,從而準(zhǔn)確控制固液界面溫度,提高晶體生長(zhǎng)的較熱場(chǎng)方式,進(jìn)而找到晶體生長(zhǎng)較途徑,以利于提高晶體生長(zhǎng)速度和晶體生長(zhǎng)質(zhì)量;
5)通過(guò)坩堝升降裝置和籽晶棒升降裝置配合,使得坩堝內(nèi)氧化鋁熔體的液面(即晶體生長(zhǎng)部位)始終保持在一個(gè)位置,以便于*控制其溫度,從而利于晶體的生長(zhǎng)。
四、藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐產(chǎn)品型號(hào)
產(chǎn)品型號(hào) | 升降比 | 坩堝尺寸mm | 額定溫度 | 功率 | 重量 | 速質(zhì)比 |
SGM.AF40/20 | 1.01-1.08 | Ø200*350 | 400-600℃ | 12KW | 20kg | 80/90% |
SGM.AF70/35 | 1.01-1.08 | Ø250*400 | 400-600℃ | 15KW | 35kg | 80/90% |
SGM.AF120/55 | 1.01-1.08 | Ø300*450 | 400-600℃ | 18KW | 55kg | 80/90% |
SGM.AF180/90 | 1.01-1.08 | Ø350*500 | 400-600℃ | 20KW | 90kg | 80/90% |
SGM.AF250/140 | 1.01-1.08 | Ø400*550 | 400-600℃ | 25KW | 140kg | 80/90% |