技術(shù)參數(shù) | |||||
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主要參數(shù) |
● 輸入電源:220V 通用 功率:< 1KW ● 工作電流: 濺射電流:0-50 mA可調(diào) ● 單次工作時(shí)間:0-5分鐘可調(diào) ● 靶頭數(shù)目:3個(gè) ● 輸出電壓:1600V DC ● 樣品臺(tái)加熱溫度:500℃(選配)
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濺射腔體 |
● 采用石英腔體,尺寸:166mm OD x 150mm ID x 290mm H ● 密封:采用O形密封圈密封
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樣品臺(tái) |
● 一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái),用于盛放基片,可以電動(dòng)控制移動(dòng)三個(gè)位置 ● 濺射距離:25 - 40毫米可調(diào) ● 可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái)(MAX溫度可到500℃) ● PID控制器控溫精度+/- 1℃(已集成到觸摸屏上)
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控制面板 |
● 控制面板為PLC,4.3" 觸摸屏 ● 一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度
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真空泵(選配) |
● 用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr(僅供參考,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊) ● 用分子泵真空度可達(dá) 10-4 torr(僅供參考,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊)
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進(jìn)氣口 |
一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口,以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量
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靶材 |
● 要求安裝靶材的尺寸:直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm ● 可在本公司選購(gòu)靶材,具體請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接
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外形尺寸 |
● 460mm×330mm×540mm (L×W×H) ● 凈重:50KG(不包括泵)
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質(zhì)保期 |
一年保修,終身技術(shù)支持 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
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質(zhì)量認(rèn)證 | CE認(rèn)證
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各種靶材的參數(shù)(僅供參考) |
對(duì)于濺射各種金屬靶材,需要摸索THE BEST 的濺射參數(shù),下表是本公司實(shí)驗(yàn)所設(shè)置的參數(shù)(參考值, 詳情請(qǐng)點(diǎn)擊) | ||||
靶材種類 | 真空度(Pa) | 濺射電流(mA) | 時(shí)間(s) | 濺射次數(shù) | |
Au | 31-33 | 28-30 | 100 | 1 | |
Ag | 31 | 28 | 100 | 1 | |
使用注意事項(xiàng) |
● 由于能量低,該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al,Mg,Zn,Ni。請(qǐng)考慮我們的磁控濺射鍍膜機(jī) 或熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。點(diǎn)擊下面圖片查看細(xì)節(jié) ● 有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜 ● 為了得到較好的薄膜質(zhì)量,必須通入高純氣體(建議> 5N) ● 在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈 ● 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合,請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面 ● 超聲波清洗(詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):(1)丙酮超聲(2)異丙醇超聲-去除油脂(3)吹氮?dú)飧稍铮?) 真空烘箱除去水分。 ● 等離子清洗(詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):可表面粗糙化,可激活表面化學(xué)鍵,可祛除額外的污染物 ● 制造一個(gè)薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力
超聲波清洗機(jī) 等離子清洗機(jī) 大功率磁控濺射儀 蒸鍍儀 手套箱
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警告 |
● 注意:產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動(dòng)機(jī)體。 ● 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥(設(shè)備標(biāo)配不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。 ● 濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶材 |
深圳市科晶智達(dá)科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務(wù)于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國(guó)家技術(shù)企業(yè),長(zhǎng)期致力于打造安全、高效、智能的實(shí)驗(yàn)研發(fā)一站式服務(wù)平臺(tái),為科學(xué)研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。 深圳科晶與美國(guó)MTI、合肥科晶、沈陽(yáng)科晶同屬M(fèi)TI-科晶聯(lián)盟,目前已經(jīng)搭建輻射的服務(wù)網(wǎng)絡(luò),精心為科學(xué)家們的實(shí)驗(yàn)室提供交鑰匙工程解決方案。 深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導(dǎo)體、精密光學(xué)器件提供潔凈存儲(chǔ)和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品,產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。 公司2008年開始進(jìn)行材料相關(guān)研發(fā)設(shè)備和鋰電池實(shí)驗(yàn)設(shè)備的開發(fā),經(jīng)過(guò)十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎(chǔ)研究、小試與中試、測(cè)試與評(píng)估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者,產(chǎn)品應(yīng)用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級(jí)電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池、功能薄膜等方向。 主要產(chǎn)品系列:按應(yīng)用與工藝更新產(chǎn)品系列 ? 材料基礎(chǔ)研究實(shí)驗(yàn)裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結(jié)、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等); ? 電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級(jí)電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽(yáng)能電池等制備方案); ? 電池安全測(cè)試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)等); ? 鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案); ? 燃料電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括固體氧化物、質(zhì)子交換膜燃料電池等制備方案); ? 鈣鈦礦太陽(yáng)能電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備; ? 功能薄膜研發(fā)實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括混料、涂布、輥壓/復(fù)合、分切、復(fù)卷等); ? 高通量材料基因組實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結(jié)、測(cè)試表征等); 公司設(shè)立了開放的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和設(shè)備體驗(yàn)中心。對(duì)于鋰電池行業(yè),可實(shí)現(xiàn)公斤級(jí)別材料制備及電池研發(fā),能接受上門小批量材料驗(yàn)證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。 深圳科晶強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)支撐了豐富的產(chǎn)品鏈,針對(duì)現(xiàn)有產(chǎn)品具有*知識(shí)產(chǎn)權(quán)的發(fā)明和實(shí)用新型共40多項(xiàng)(包含PCT和國(guó)內(nèi)發(fā)明),并參與行業(yè)多項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)制定且獲得多個(gè)行業(yè)協(xié)會(huì)認(rèn)可。 本著“精誠(chéng)合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學(xué)、南開大學(xué)、上海交通大學(xué)、深圳大學(xué)、中航發(fā)航材院、溧陽(yáng)天目湖研究院等十多個(gè)高校機(jī)構(gòu)和企業(yè)簽署產(chǎn)學(xué)研合作。與此同時(shí),深圳科晶設(shè)立了對(duì)外服務(wù)的公共試驗(yàn)平臺(tái),承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試體驗(yàn),配備行業(yè)的售前技術(shù)人員協(xié)助研究者充分了解相關(guān)工藝和設(shè)備,縮短調(diào)研考察與決策時(shí)間。該實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)也可以承接相關(guān)工藝試驗(yàn)服務(wù)和培訓(xùn)咨詢服務(wù),協(xié)助細(xì)分領(lǐng)域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝,從而專注前沿研發(fā)。 材料科學(xué)是基礎(chǔ)科學(xué)??v觀人類科技的發(fā)展歷史,新型材料的發(fā)現(xiàn)和應(yīng)用將帶來(lái)巨大的產(chǎn)業(yè)機(jī)遇,而*的實(shí)驗(yàn)裝備和儀器是為科研和應(yīng)用保駕護(hù)航的重要保障??凭F(tuán)隊(duì)將一如既往秉承“客戶為本,技術(shù)為導(dǎo),誠(chéng)信為基,積極創(chuàng)新”的運(yùn)營(yíng)理念 ,竭力為科學(xué)研究和科技發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 產(chǎn)品信息
- Vertex.One/Vertex.C荷蘭Ivium全功
- 荷蘭IviumVertex系列電化學(xué)工作站
- 荷蘭Ivium-n-Stat多通道電化學(xué)工作
- Vertex.C.EIS電化學(xué)工作站
- Vertex.One.EIS電化學(xué)工作站
- GSL-1600X-VIGA300氣體霧化金屬粉
- UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)
- MSK-SFM-ALO顎式破碎機(jī)
- MSK-TE908電池定向跌落試驗(yàn)機(jī)
- MSK-TE938電池跌落試驗(yàn)機(jī)
- MSK-TE920電池翻滾跌落試驗(yàn)機(jī)
- TL-HT-2-LD桌面式紅外加熱提拉鍍膜