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三路質(zhì)子氣體流量控制器

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公司名稱河南創(chuàng)合實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2022/9/26 13:30:24
訪問次數(shù)291

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

河南創(chuàng)合實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司成立于2018年。公司是集研發(fā)、制造、營(yíng)銷于一身，為眾多科研院所、高校提供實(shí)驗(yàn)室電爐系統(tǒng)解決方案及服務(wù)并深受用戶肯定的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備供應(yīng)商;以北大、清華、中科院等各院所為代表的客戶群體已經(jīng)超過百余家，并為客戶完成各科研項(xiàng)目做出了自己的貢獻(xiàn)。截至到目前，公司已經(jīng)成功研發(fā)出深受用戶肯定的200余種的產(chǎn)品;同時(shí)公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)具備為客戶量身打造實(shí)驗(yàn)室電爐系統(tǒng)的能力?！　」局鳡I(yíng)產(chǎn)品包括：實(shí)驗(yàn)室箱式爐，管式爐，井式電阻爐，CVD系統(tǒng)，RTP管式爐，等離子清洗機(jī)，實(shí)驗(yàn)室壓片機(jī)等系列的實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品。

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產(chǎn)品描述　　三路質(zhì)子流量控制器主要用于實(shí)驗(yàn)室氣體流量測(cè)試,并按比例混合氣體,為實(shí)驗(yàn)室管式爐或手套箱等其他特定容器營(yíng)造特定要求的氣氛環(huán)境

三路質(zhì)子氣體流量控制器產(chǎn)品信息

三路質(zhì)子流量控制器主要用于實(shí)驗(yàn)室氣體流量測(cè)試,并按比例混合氣體,為實(shí)驗(yàn)室管式爐或手套箱等其他特定容器營(yíng)造特定要求的氣氛環(huán)境.
該氣體流量控制器可以外接3種氣體,采用質(zhì)子型流量計(jì),氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).三路質(zhì)子氣體配比器氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

應(yīng)用范圍：
1.半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制
2.各種真空鍍膜設(shè)備
3.材料表面處理
4.氣體燃燒控制
5.混和配氣系統(tǒng)
6.環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備
7.分析儀器的氣體流量計(jì)量與控制 8.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要?dú)怏w檢測(cè)和控制的場(chǎng)所

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱	三路質(zhì)子氣體流量控制器
流量計(jì)類型	質(zhì)子流量計(jì)
流量計(jì)管芯	304不銹鋼
調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
管道常態(tài)	常閉
流量計(jì)外殼	黑色鋁殼
氣體種類	3種
接口尺寸	1/4"
測(cè)量精度	±1.0%F.S
線性度	±0.5%F.S
重復(fù)精度	±0.2%F.S
壓力范圍	-0.1-0.15 MPa
A路氣體測(cè)量范圍	0～100SCCM
B路氣體測(cè)量范圍	0～200SCCM
C路氣體測(cè)量范圍	0～500SCCM
流量控制范圍	2%～99%
零點(diǎn)溫漂	0.6F.S(15～35℃)
響應(yīng)時(shí)間	2S
工作環(huán)境溫度	(15～50℃)
精度保證溫度	(15～35℃)
供電電源	220V 50Hz
設(shè)備重量	43kg