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等離子清洗機(jī) V1000/1000X/1000XS

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公司名稱柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2022/10/9 12:58:28
訪問(wèn)次數(shù)188

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司專注于為科研工作者和質(zhì)量控制人員提供一站式實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品與配套服務(wù)，致力于成為科學(xué)服務(wù)領(lǐng)域的者與變革者。公司通過(guò)自主研發(fā)、品牌運(yùn)營(yíng)、品牌代理、實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)規(guī)劃方案等方式為生物醫(yī)藥、新材料、新能源、化工化學(xué)、精細(xì)化工、食品日化、分析檢測(cè)等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)室提供的綜合服務(wù)，覆蓋客戶的研發(fā)準(zhǔn)備、研發(fā)過(guò)程、研發(fā)后期、生產(chǎn)質(zhì)控等各個(gè)階段，提供“一站式”有競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品和服務(wù)，是國(guó)內(nèi)的科學(xué)服務(wù)提供商。

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，，

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等離子清洗機(jī) V1000/1000X/1000XS

等離子清洗機(jī) V1000/1000X/1000XS 產(chǎn)品信息

13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機(jī)，搭載RIE·DP雙模式
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡(jiǎn)單”的臺(tái)式高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng) 多種用途。
特征
● 可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
● 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。

用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機(jī)物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除

內(nèi)槽

規(guī)格

型號(hào)	V1000	V1000X	V1000XS
等離子模式	DP/RIE
高頻電源	13.56MHz
輸出功率	Max1000W	Max1000 & 1500W
有效電極尺寸	W280×D280mm	W300×D300mm	W400×D375mm
電極	平行平板	2段電極（獨(dú)立）	平板（多目的）
反應(yīng)氣體	聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）
真空泵（標(biāo)配）	約1000L/min	約1500L/min	1000 & 1500L/min
安全裝置	門檢測(cè)開(kāi)關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開(kāi)關(guān)、溫度過(guò)升防止器等