MFC800系列氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品概述
MFC800系列氣體質(zhì)量流量控制器,為工業(yè)和科學(xué)研究領(lǐng)域長期可靠工作而設(shè)計。利用熱擴散原理及PID控制原理,測量和控制小管道的氣體質(zhì)量流量輸出,不需要溫度和壓力補償。以性能可靠、安裝方便和價格合理得以大量應(yīng)用。
產(chǎn)品特點
☆用于多種氣體質(zhì)量流量控制,如CO,Ar,CF4,O2,N2,H2,C2H4,C2F6,NF3,SIF4等
☆測量范圍:從0-5sccm 至 0-1500slm
☆精度:1.0%F.S.
☆量程比:最小100:1
☆重復(fù)性:0.25%
☆響應(yīng)時間:1.0S
☆過程溫度:0-50℃
☆過程壓力:0-8MPa
☆供電:24VDC
☆輸出:0-5V,4-20mA,RS232
☆管道材質(zhì):316L
☆連接標(biāo)準(zhǔn):1/4英寸,3/8英寸,1/2英寸,3/4英寸
產(chǎn)品應(yīng)用
l 實驗室,泄漏檢測
l 醫(yī)學(xué),氣體合成
l 科學(xué)研究,過程控制
l 制藥,半導(dǎo)體工業(yè)