羽杰科技研發(fā)生產(chǎn)的真空低溫蒸發(fā)半導(dǎo)體芯片制造廢水處理設(shè)備通過(guò)主要功能是在真空負(fù)壓作用下把蒸發(fā)沸點(diǎn)降低,使原液加熱后在30°沸騰蒸餾,蒸餾出來(lái)的蒸汽經(jīng)過(guò)冷凝系統(tǒng)凝結(jié)成液態(tài)水通過(guò)排水系統(tǒng)排出到制定收集桶,根據(jù)處理的廢水不同濃縮減量出水率可以達(dá)到70-95%。通過(guò)羽杰科技生產(chǎn)的真空低溫蒸發(fā)濃縮減量處理,處理后的廢水滿(mǎn)足GB/T 31962-2015中標(biāo)準(zhǔn)排放要求,可排放可回用,達(dá)到減輕企業(yè)廢液處理的成本。
在半導(dǎo)體制造技術(shù)中,通過(guò)一系列的光刻、刻蝕、沉積、離子注入、研磨、清洗等工藝形成具有各種功能的半導(dǎo)體芯片,然后將所述半導(dǎo)體芯片進(jìn)行封裝和電性測(cè)試,并最終形成終端產(chǎn)品。目前,在半導(dǎo)體芯片的制造過(guò)程中,會(huì)產(chǎn)生大量的工業(yè)廢水且芯片制造生產(chǎn)工藝復(fù)雜,包括硅片清洗、化學(xué)氣相沉積、刻蝕等工序反復(fù)交叉,生產(chǎn)中使用了大量的化學(xué)試劑如HF、H2SO4、NH3?H2O等。所以一般芯片制造廢水處理系統(tǒng)有含氨廢水處理系統(tǒng)+含氟廢水處理系統(tǒng)+CMP。
在現(xiàn)有的廢水處理過(guò)程中,通常單獨(dú)使用序列間歇式活性污泥法(SBR)或生物接觸氧化法或曝氣生物濾池(BAF),均只能對(duì)廢水進(jìn)行單一的處理,例如為過(guò)濾或微生物反應(yīng)或去除毒性等,由于處理方式過(guò)于單一,這常常導(dǎo)致過(guò)濾物質(zhì)很快堵塞的問(wèn)題。因此,廢水處理仍有改善的空間。
羽杰科技的廢水處理設(shè)備主要目的在于提供一種芯片生產(chǎn)線的廢水處理方法,以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的處理方式過(guò)于單一,這常常導(dǎo)致過(guò)濾物質(zhì)很快堵塞的問(wèn)題。
羽杰科技研發(fā)生產(chǎn)的真空低溫蒸發(fā)半導(dǎo)體芯片制造廢水處理設(shè)備通過(guò)主要功能是在真空負(fù)壓作用下把蒸發(fā)沸點(diǎn)降低,使原液加熱后在30°沸騰蒸餾,蒸餾出來(lái)的蒸汽經(jīng)過(guò)冷凝系統(tǒng)凝結(jié)成液態(tài)水通過(guò)排水系統(tǒng)排出到制定收集桶,根據(jù)處理的廢水不同濃縮減量出水率可以達(dá)到70-95%。通過(guò)羽杰科技生產(chǎn)的低溫真空蒸發(fā)器設(shè)備濃縮減量處理,可以減輕企業(yè)廢液處理的成本。
半導(dǎo)體芯片制造廢水處理設(shè)備用途:
1、經(jīng)濟(jì)效益方面:能大大節(jié)省委外廢水的數(shù)量和花費(fèi),可為企業(yè)節(jié)省9成的廢水處理的委外處理成本;
2、環(huán)保效益方面:使廢棄的高濃度有機(jī)廢水能夠多次再生循環(huán)利用,羽杰科技低溫蒸發(fā)器設(shè)備廢水處理設(shè)備還幫您減少了廢水對(duì)環(huán)境的污染和破壞;
3、公司形象方面:節(jié)能環(huán)保,不但是部門(mén)越來(lái)越重視的政策趨勢(shì),還能增加客戶(hù)對(duì)公司的認(rèn)可度,為公司形象加分。
半導(dǎo)體芯片制造廢水處理設(shè)備優(yōu)勢(shì)
1、全不銹鋼結(jié)構(gòu),整機(jī)和設(shè)備部件防爆安全設(shè)計(jì),電器采用有防爆資質(zhì)廠家的防爆電控箱,安全使用。
2、標(biāo)準(zhǔn)化批量生產(chǎn),品質(zhì)有保障,油水分離,省錢(qián)省心。
3、回收流程簡(jiǎn)單,機(jī)器操作便捷,普通員工短期培訓(xùn),即可安全操作。
4、超低的機(jī)器維護(hù)成本,機(jī)器性能穩(wěn)定,耐用,維護(hù)簡(jiǎn)單,耗材少。
5、多重運(yùn)行安全保護(hù)功能:定時(shí)關(guān)機(jī)功能,機(jī)器運(yùn)行達(dá)到預(yù)設(shè)時(shí)長(zhǎng)時(shí),則自動(dòng)停機(jī)?;厥盏母邼舛扔袡C(jī)廢水品質(zhì)高:色正、清澈、純凈。
6、超高溫保護(hù)功能:在設(shè)定的溫定范圍內(nèi)運(yùn)行,有效防止加熱溫度過(guò)高;高壓保護(hù)功能;桶內(nèi)壓力過(guò)高時(shí),安全閥將自動(dòng)泄壓,確保安全。
7、停電保護(hù)功能:突然停電時(shí),機(jī)器立即自動(dòng)關(guān)機(jī),防止再次供電時(shí)機(jī)器繼續(xù)運(yùn)行。
半導(dǎo)體芯片制造廢水處理設(shè)備使用流程
1、接通電源,(不包括自動(dòng)加料裝置情況下)打開(kāi)桶蓋,倒入臟溶液,蓋緊桶蓋,打開(kāi)電源。
2、機(jī)器加熱達(dá)到工業(yè)廢水沸點(diǎn)溫度,工業(yè)廢水受熱蒸發(fā)而與不可蒸發(fā)的雜質(zhì)分離。
3、蒸汽工業(yè)廢水進(jìn)入到冷凝系統(tǒng),通過(guò)防爆風(fēng)機(jī)散熱(也可以選擇水冷降溫)液化后,干凈的處理水,流入廢水收集桶。
4、回收桶內(nèi)工業(yè)廢水被蒸干(可控制是否蒸干)后,傾倒入回收桶(可選下排),清理桶內(nèi)殘?jiān)?/p>