產(chǎn)品介紹:
臺(tái)式勻膠機(jī)用于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂履,具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn),保證涂膠厚度的一致性和均勻性。
技術(shù)參數(shù):
參數(shù):手動(dòng)旋鈕控制
基片尺寸φ200-φ600mm圓片、蕞大500x500mm2方片
轉(zhuǎn)速:200-2000轉(zhuǎn)/分
顯示轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1%
旋涂均勻性±5%
勻膠工藝階段:2段
勻膠時(shí)間:3-60s可調(diào)
電機(jī)功率:320W
儀器尺寸:980mmx855mmx855mm
適用材料:硅片、玻璃、石英、金屬GaAs、GaN、InP等多種材料