原位薄膜應力測量系統(tǒng)(kSA MOS Film Stress Measurement System)：系統(tǒng)采用非接觸MOS激光陣列技術；不但可以對薄膜的應力、表面曲率和翹曲進行實時原位測量，而且還可二維應力Mapping 成像統(tǒng)計分析，同時可精確測量應力、曲率隨溫度變化的關系。

典型用戶：Harvard University 2套，Stanford University，Johns Hopkins University，Brown University 2套，Karlsruhe Research Center,Max Planck Institute，西安交通大學，中國計量等、半導體和微電子制造商（如IBM.，Seagate Research Center,Phillips Semiconductor,NEC，Nissan ARC,Nichia Glass Corporation）等； 

相關產(chǎn)品：
薄膜應力儀（kSA MOS 薄膜應力測量儀）：為獨立測量系統(tǒng)，同樣采用多光束MOS技術，詳細信息請與我們聯(lián)系。

設備名稱：
原位薄膜應力測量系統(tǒng)，原位薄膜應力測試儀，原位薄膜應力計，薄膜應力儀，kSA MOS Film Stress Tester, kSA MOS Film Stress Measurement System;

主要特點：
   1.MOS 多光束傳感器技術；
   2.單Port(樣品正上方)和雙Port(對稱窗口)系統(tǒng)設計；
   3.適合MOCVD, MBE, Sputter，PLD、蒸収系統(tǒng)等各種真空薄膜沉積系統(tǒng)以及熱處理設備等；
   4.薄膜應力各向異性測試和分析功能；
   5.生長速率和薄膜厚度測量；（選件）
   6.光學常數(shù)n&k 測量；（選件）
   7.多基片測量功能；（選件）
   8.基片旋轉(zhuǎn)追蹤測量功能；（選件）
   9.實時光學反饋控制技術，系統(tǒng)安裝時可設置多個測試點；
   10.專業(yè)設計免除了測量丌受真空系統(tǒng)振動影響；

測試功能：
         1. 實時原位薄膜應力測量
   2.實時原位薄膜曲率測量
   3.實時原位應力*薄膜厚度曲線測量
   4.實時原位薄膜生長全過程應力監(jiān)控等

實際應用：