§ 產(chǎn)品簡介： nanoETCH刻蝕機是英國MOORFIELD公司與英國曼徹斯特大學“諾貝爾獎”石墨烯團隊共同開發(fā)的一款采用“軟刻蝕”技術等離子體刻蝕機，該技術的特色是等離子體的功率低，分辨率高，功率可達10mV，主要用于刻蝕二維材料石墨烯等，刻蝕精度高，高重復性號，刻蝕超薄樣品無污染與殘留物，可避免傳統(tǒng)刻蝕機造成樣品的損傷與污染，有多篇Science 與Nature的文章里采用了該設備，是從事二維材料研究用戶的理想選擇。 § 產(chǎn)品特性： ? 對基底材料無損傷 ? 無殘留污染 ? RF輸出功率低至30W ? RF輸出功率分辨率低至10mW ? 最多支持3通道MFC氣體控制，含Ar，O2 ? 通過觸控屏全自動進行刻蝕 ? 真空度低至<5 × 10-7 mbar ? 全自動壓力控制 ? 可自定義刻蝕程序并具有儲存功能 ? 維護簡單 ? 操作及其安全，有各種安全保護裝置 ? 兼容超凈間 § 主要技術參數(shù)： ? RF功率:低至30W ? RF功率分辨率:低至30W ? 樣品臺：標準3”，支持6” ? 2通道MFC氣體控制，Ar，O2，最多支持3通道MFC氣體控制 ? 壓力控制分辨率：1mTorr ? 真空度：<5 × 10-7 mbar § 產(chǎn)品應用： ? 機械剝離基體預處理，提高基體的尺寸與粘附力 ? 二維材料刻蝕: 軟刻蝕技術可進行pattern刻蝕， ? 缺陷工程與處理 § 典型用戶 ? the University of Exeter(UK) ? the University of Manchester(UK) ? ICFO – The Institute of Photonic Sciences ( Spain) ? the University of Cambridge and Nokia Research Centre (UK) § 典型論文： 1, Vertical field-effect transistor based on graphene–WS2 heterostructures for flexible and transparent electronics, Georgiou, T., et al. Nature Nanotechnology, 2012. 2, Chaotic dirac billiard in graphene quantum dots, Ponomarenko, L. A., et al. Science , 2008. 3, Detection of individual gas molecules adsorbed on grapheme, Schedin, F., et al. Nature Materials 2007. 4, Graphene-based mid-infrared room-temperature pyroelectric bolometers with ultrahigh temperature coefficient of resistance, Sassi, U., et al. Nature Communications, 2017. § 石墨烯生成設備請參考：nanoCVD-8G石墨烯化學氣相沉積系統(tǒng)
微納（香港）科技有限公司(MNT)是一家專業(yè)的高科技儀器與設備供應商。是由海外留學歸國人員創(chuàng)辦的專門從事國外檢測設備代理的高科技公司，我們已經(jīng)與多所高校共建了合作關系，致力于為中國材料，機械，半導體，醫(yī)學，汽車，航天等領域提供國際的檢測設備與技術解決方案。 目前， 微納（香港）科技有限公司（MNT）是多家歐美、韓國儀器供應商在中國的代理商，主要負責相關設備在中國的銷售，技術支持與售后服務， 產(chǎn)品涵蓋原子力顯微鏡、光學輪廓儀、表面輪廓儀、三維表面形貌儀、納米壓痕儀、微米壓痕儀、納米劃痕儀、微米劃痕儀、摩擦磨損試驗機、熱蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)、磁控濺射鍍膜系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、CVD、等離子刻蝕機、真空高溫退火爐、棱鏡耦合儀、共聚焦拉曼顯微鏡等諸多產(chǎn)品，客戶遍及中國各大高校、科研院所及企業(yè)。 我司的服務理念是：專業(yè)成就品質，服務創(chuàng)造價值，誠信鑄就品牌！
nanoETCH等離子刻蝕機 產(chǎn)品信息
關鍵詞：刻蝕機
