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反應(yīng)腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列

參考價	面議

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱HORIBA, Ltd.
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時間2022/11/6 13:30:10
訪問次數(shù)288

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公司介紹主營產(chǎn)品

堀場集團向遍布各地的用戶大量提供具有水平的分析儀器系統(tǒng)及系列產(chǎn)品。應(yīng)用范圍從汽車發(fā)動機尾氣排放檢測的研發(fā)到過程及環(huán)境監(jiān)測，體外醫(yī)療檢測，半導(dǎo)體制造和計量，以及范圍廣泛的科技研發(fā)和質(zhì)量控制測量。實踐證明，的質(zhì)量和值得信賴的性能，贏得了廣大用戶對堀場公司品牌的廣泛信任。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

反應(yīng)腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列

反應(yīng)腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列產(chǎn)品信息

概要
規(guī)格

概要

EC-5000系列產(chǎn)品是由一套排氣壓力控制器所組成，此裝置可保證反應(yīng)室的壓力值始終穩(wěn)定在客戶要求的設(shè)定范圍。高分辨度的步進式馬達和蝶形閥設(shè)計確保了本產(chǎn)品的高速、高分辨度響應(yīng)。

特征

適合高真空環(huán)境使用：不銹鋼質(zhì)本體
抗腐蝕
使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本體也可以提供
適合對于腐蝕性氣體的使用

當排氣端流量被調(diào)整到的位置：

抗蝕劑是以一層均勻的薄膜方式分布的
阻止了噴霧的次級沉積
阻止了危險水蒸氣的擴散
此外，與流量傳感器控制方式相比較而言，因抗蝕劑和其他污染物堆積對本產(chǎn)品造成的影響更小
此產(chǎn)品屬于受日本法律管制的出口品（列于控制清單之上）。在從日本出口到海外或者供應(yīng)給非日本企業(yè)前，必需從日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省的相關(guān)部門獲得出口許可證件。

規(guī)格

Model EC-

5104

5105

5202

Compatible size

NW40

NW50

25 mm PTFE fitting

1 inch PTFE fitting

Materials at gas contact area

SUS316L, Fluoro rubber

PTFE, PEEK, Fluoro rubber

Conductance
(in vacuum area)

0.4 to 80L/s

0.6 to 200L/s

——

Outflow at 100 mm H2O
(fully closed)

20L/min

25L/min

3L/min

* This product is subject to Japan's Export Control Law (i.e. on its control list). Before it is exported from Japan to overseas or supplied to non-residents, an Export License must be obtained from the Ministry of Economy, Trade and Industry (METI) of Japan.