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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

非接觸式全自動(dòng)曲率及薄膜應(yīng)力測(cè)試儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱科睿設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/11/7 15:46:18
  • 訪問次數(shù)686
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親愛的讀者,親愛的用戶: 謝謝您瀏覽我們的網(wǎng)站!您的要求,您的技術(shù)和科研困難和問題,您的意見和建議,以及您的各種評(píng)論都是我們的機(jī)會(huì)。希望您能積極與我們交流,讓我們能為您提供服務(wù)和幫助,為您提供實(shí)用的解決方案。祝你們多出成果,出好成果! 科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國(guó)外高科技儀器廠家在中國(guó)地區(qū)的代理??祁9疽回灡小赫\(chéng)信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國(guó)用戶提供的儀器、設(shè)備,最周到的技術(shù)、服務(wù)和的整體解決方案。在科技日新月異、國(guó)力飛速發(fā)展的中國(guó),納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長(zhǎng)和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達(dá)國(guó)家*接軌的儀器設(shè)備平臺(tái)來實(shí)現(xiàn)。科睿設(shè)備有限公司有幸成長(zhǎng)在這個(gè)火熱的年代,我們?cè)敢饣癁橐蛔鶚蛄海娮C中國(guó)科技水平的提升,與中國(guó)科技共同飛速成長(zhǎng)。 科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國(guó)香港,在中國(guó)上海設(shè)立了分公司,在國(guó)內(nèi)多個(gè)城市設(shè)立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供的產(chǎn)品和服務(wù)。2010年,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉(cāng)庫(kù)及維修中心,同時(shí)提供在大陸的各項(xiàng)技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),我們擁有專業(yè)的應(yīng)用維修人員,并且都曾到國(guó)外廠家進(jìn)行了專門的培訓(xùn)。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便。我們承諾24小時(shí)電話響應(yīng),72小時(shí)內(nèi)趕到現(xiàn)場(chǎng)維修。以利于更好、更快的為中國(guó)大陸服務(wù)! 因?yàn)樾湃?所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經(jīng)為國(guó)內(nèi)眾多科研院所和大學(xué)根據(jù)用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導(dǎo)體所,中科院大連化學(xué)物理研究所,國(guó)家納米中心,上海納米中心,北京大學(xué),清華大學(xué),中國(guó)科技大學(xué),南京大學(xué),復(fù)旦大學(xué),上海交通大學(xué),華東理工大學(xué),浙江大學(xué),中山大學(xué),西安交通大學(xué),四川大學(xué),中國(guó)工程物理研究院,香港大學(xué),香港城市大學(xué),香港中文大學(xué),香港科技大學(xué)等。
產(chǎn)品描述:非接觸式全自動(dòng)曲率及薄膜應(yīng)力測(cè)試儀 在線訂購(gòu)
非接觸式全自動(dòng)曲率及薄膜應(yīng)力測(cè)試儀 產(chǎn)品信息
非接觸式全自動(dòng)曲率及薄膜應(yīng)力測(cè)試儀
全自動(dòng)二維或三維測(cè)量彎曲、弧度、坡度和表面曲率,
軟件模塊用于計(jì)算硅片和玻璃基板的薄膜應(yīng)力(晶圓應(yīng)力)
應(yīng)用
平板掃描用于非接觸式測(cè)量各種反射表面的平整度、波紋度、平均半徑和薄膜應(yīng)力,如硅片、鏡子、X射線鏡(Goebel鏡)、金屬表面或拋光聚合物。光學(xué)測(cè)量原理確保了高精度。它是基于測(cè)量垂直入射激光束沿等寬直線的反射角。通過測(cè)量點(diǎn)之間反射角的變化,可以精確地計(jì)算出表面形狀。對(duì)于某些應(yīng)用,反射角本身很有趣。因此,軟件還提供了這種測(cè)量選項(xiàng)。
對(duì)于半導(dǎo)體技術(shù)中的應(yīng)用,涂層中的薄膜應(yīng)力可以通過測(cè)量涂層前后的半徑來計(jì)算。
大測(cè)量區(qū)域
所用測(cè)量原理的一個(gè)特點(diǎn)是它獨(dú)立于測(cè)量領(lǐng)域。
因此,在不降低精度的情況下,可以任意增大標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量區(qū)域直徑200毫米。
測(cè)量精度高
平板掃描具有較高的測(cè)量精度。測(cè)量系統(tǒng)的分辨率為0.1弧秒。表面形狀再現(xiàn)性達(dá)100nm。
測(cè)量范圍大,工作距離大
測(cè)量范圍是可以在一次掃描中測(cè)量的箭頭高度(或最小可測(cè)量曲率半徑)。平面掃描的特點(diǎn)是測(cè)量范圍非常大,這是無法實(shí)現(xiàn)與競(jìng)爭(zhēng)性的測(cè)量方法,如條紋干涉儀。
因此,平面掃描適用于測(cè)量具有強(qiáng)曲率的表面,如Goebel反射鏡、硅片或其他。使用的光學(xué)測(cè)量原理工作時(shí)與工作距離無關(guān),保證了較高的工作距離,因此不存在損壞試樣的危險(xiǎn)。

可選二維或三維測(cè)量
可選,根據(jù)設(shè)備類型,可以完成單線掃描或完整的3D掃描。
三維掃描是由許多具有自動(dòng)樣本定位的單行掃描組裝而成的。
該軟件為測(cè)量結(jié)果的圖形和數(shù)字表示提供了所有的可能性,如三維表示、剖面圖和測(cè)量協(xié)議。
薄膜應(yīng)力計(jì)算軟件模塊
對(duì)于半導(dǎo)體技術(shù)和所有應(yīng)用,在完成表面改性(如涂層或涂層去除)的情況下,軟件配備了用Fowkes理論計(jì)算薄膜應(yīng)力的模塊。通過這種方法,平板掃描可以快速而容易地測(cè)量薄膜應(yīng)力。 薄膜應(yīng)力是根據(jù)涂層前后的平均曲率半徑計(jì)算出來的。
技術(shù)參數(shù)
再現(xiàn)性表面曲率(p-v):小于100納米
光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)的分辨率:0.1弧秒
光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)精度: 1弧秒
測(cè)量速度: 10毫米--30毫米/秒
測(cè)量區(qū)域:標(biāo)準(zhǔn)直徑200 mm
試樣厚度:不限
最小曲率半徑和根據(jù)掃描長(zhǎng)度確定的箭頭高度:
200毫米:R=18米290微米,
300毫米:R=25米435微米,
500毫米:R=43米725微米
自由工作距離:不限
測(cè)量波長(zhǎng):標(biāo)準(zhǔn)670納米
自動(dòng)順序測(cè)試
關(guān)鍵詞:應(yīng)力測(cè)試儀
15168338725
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