GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達(dá)50mm,鍍膜厚度可達(dá)300?,特別適用于SEM樣品的鍍膜。
功能特點(diǎn) |
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- 設(shè)有真空表、濺射電流表,可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。
- 通過(guò)調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體,以獲得鍍膜效果。
- 鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì),可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
- 陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。
- 根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。
- 已通過(guò)CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù) | |||
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安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
水 | 不需要 | ||
電 | AC220V 50Hz,必須有良好接地 | ||
氣 | 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥) | ||
工作臺(tái) | 尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 | ||
通風(fēng)裝置 | 不需要 | ||
電源 | 220V | ||
總功率 | <2000W(包括真空泵) | ||
真空室 | ?160mm×120mm | ||
樣品臺(tái) | ?50mm,且高度可調(diào),可同時(shí)進(jìn)行8個(gè)SEM樣品的鍍膜 | ||
均勻鍍膜 | ?45mm | ||
尺寸 | 400mm×300mm×400mm | ||
重量 | 30kg | ||
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 金靶材 | 1個(gè) |
2 | 進(jìn)氣針閥 | 1個(gè) | |
3 | 保險(xiǎn)絲 | 2個(gè) |
暫無(wú)內(nèi)容
暫無(wú)內(nèi)容