飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 是***的集成化成像分析系統(tǒng)。借助該系統(tǒng),既可觀察樣品的表面形貌,又可分析其元素組分。
研究樣品時(shí),得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助***集成、特殊設(shè)計(jì)的能譜探測器,飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 可以完善解決上述所有問題。
能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件、硬件都是集成設(shè)計(jì)在飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 系統(tǒng)中。
Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)分析,檢測樣品的元素組分。此外,該軟件還可以擴(kuò)展到元素分析線面掃(mapping)功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)。
Phenom ProX 主要技術(shù)參數(shù)
光學(xué)放大20 - 135 X
電子放大*** 150,000 X
分辨率優(yōu)于 8 nm @ 10kV
數(shù)字放大Max 12 X
光學(xué)導(dǎo)航相機(jī)彩色
加速電壓5 Kv - 15 Kv 連續(xù)可調(diào)
真空模式
標(biāo)準(zhǔn)模式
降低荷電效應(yīng)模式
探測器背散射電子探測器
樣品尺寸***直徑 32 mm
樣品高度*** 100 mm