英國(guó)PRIOR的納米壓電Z軸晶圓載物臺(tái)
PRIOR納米壓電Z軸高負(fù)載晶圓臺(tái),12英寸大尺寸晶圓臺(tái)
毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間和高帶寬使WP-Z-120A晶圓定位系統(tǒng)非常適合需要高吞吐量的應(yīng)用。電動(dòng)晶圓臺(tái)設(shè)計(jì)用于容納 300毫米(12英寸晶圓)的晶圓,并提供優(yōu)良性能,負(fù)載高達(dá)8公斤,適用于重型晶圓卡盤(pán)。
該平臺(tái)使用電容式定位傳感器提供納米位移測(cè)量和閉環(huán)反饋。彎曲引導(dǎo)在120 μm閉環(huán)范圍內(nèi)提供無(wú)摩擦且可靠的運(yùn)動(dòng),并通過(guò)Queensgate的數(shù)字閉環(huán)控制器實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)和穩(wěn)定時(shí)間。
PRIOR旗下Queensgate公司業(yè)務(wù)開(kāi)發(fā)經(jīng)理Alison Raby表示“我們很高興向市場(chǎng)推出WP-Z-120A大尺寸晶圓臺(tái)。我們希望設(shè)計(jì)一款能夠承載高負(fù)載但實(shí)現(xiàn)市場(chǎng)較*的快速響應(yīng)和穩(wěn)定時(shí)間的納米壓電Z軸晶圓載物臺(tái),晶圓掃描儀的設(shè)計(jì)考慮了OEM客戶(hù),并且可以適應(yīng)輕松升級(jí)到新的OEM晶圓臺(tái)自定義版本?!?/span>
WP-Z-120A高負(fù)載晶圓臺(tái)可針對(duì)不同的環(huán)境和規(guī)格進(jìn)行定制。它與真空 (HV) 兼容,是電子顯微鏡室的理想選擇。還提供超高真空(UHV)和UHV-RAD抗輻射版本。更高負(fù)載的真空臺(tái)定制版本可用于高達(dá)14公斤的負(fù)載,并且提供用于平臺(tái)調(diào)平和掃描的傾斜版本??筛鶕?jù)要求提供160 μm的擴(kuò)展范圍和200 mm晶圓的更小尺寸。
高負(fù)載壓電晶圓Z軸平臺(tái)技術(shù)規(guī)格:
高負(fù)載壓電晶圓Z軸平臺(tái)
高負(fù)載壓電晶圓Z軸平臺(tái)主要應(yīng)用:
-晶圓或掩模檢測(cè)應(yīng)用
-電子顯微鏡SEM/TEM應(yīng)用
-干涉測(cè)量和計(jì)量應(yīng)用
-顯微鏡高精度載物臺(tái)應(yīng)用
-材料檢驗(yàn)應(yīng)用
-鏡面定位應(yīng)用
高負(fù)載壓電晶圓Z軸平臺(tái)定制解決方案:
-真空(HV)兼容版本,非常適合在電子顯微鏡的真空室中使用
-超高真空 (UHV)和UHV-RAD抗輻射版本,具有低放氣聚酰亞胺布線(xiàn)
-高負(fù)載OEM晶圓臺(tái)定制版本,可使用高達(dá)14公斤
-用于平臺(tái)調(diào)平和掃描的傾斜調(diào)制Z軸定制版本
-160 μm的擴(kuò)展范圍
-200 mm晶圓的裝配/12英寸晶圓的裝配
-可提供用于Prior Scientific載物臺(tái)H112高精度載物臺(tái)的轉(zhuǎn)接板
高負(fù)載壓電晶圓Z軸平臺(tái)的NPC-D-6110壓電控制器:
高負(fù)載壓電晶圓Z軸平臺(tái)可由NPC-D-6110壓電控制器驅(qū)動(dòng)控制,NPC-D-6110壓電控制器具備20 μm的更新速率,該規(guī)格參數(shù)在市面上具備極大的優(yōu)勢(shì),其超低噪聲的控制模式在高伺服環(huán)路帶寬或高負(fù)載使用下依舊可以保證高分辨率運(yùn)行。帶有加速/減速控制的運(yùn)動(dòng)控制算法可減少超調(diào),可以提供更佳的步進(jìn)穩(wěn)定時(shí)間。該系統(tǒng)提供高達(dá)三個(gè)出廠(chǎng)設(shè)置,可選擇的調(diào)諧預(yù)設(shè)使得控制器使用時(shí),對(duì)于步進(jìn)穩(wěn)定和樣品質(zhì)量進(jìn)行了優(yōu)化處理。五個(gè)額外的自定義預(yù)設(shè)可用于自定義調(diào)整。
新的速度控制算法為對(duì)焦堆疊或?qū)拱鼑葢?yīng)用提供了超平滑的波形。
高負(fù)載壓電晶圓Z軸平臺(tái)的操作界面:
模擬命令輸入和位置輸出- 10 – + 10 V或0 – 10 V。數(shù)字命令可通過(guò)USB、RS232C或數(shù)字正交/步進(jìn)和方向命令獲得??蛇x的高速RS422C數(shù)字接口用于樣品精確控制和位置反饋。
提供了一個(gè)DLL接口,便于與客戶(hù)的軟件集成?;胤抛远x編程波形,如光柵掃描或等速剖面的標(biāo)準(zhǔn)功能??梢栽谧远x點(diǎn)激活單獨(dú)的數(shù)字觸發(fā)輸出,以控制外部設(shè)備,例如相機(jī)成像等應(yīng)用需求。
高負(fù)載壓電晶圓Z軸平臺(tái)訂購(gòu)和配件信息:
英國(guó)PRIOR的納米壓電Z軸晶圓載物臺(tái)