機(jī)電大信號(hào)應(yīng)變和極化測量。
壓電小信號(hào)系數(shù)和介電常數(shù)與直流偏置電壓的關(guān)系。如果已知?jiǎng)偠戎?,則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數(shù)。
電氣和機(jī)電性能疲勞。
作為電氣薄膜測試的創(chuàng)新者,aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng),該系統(tǒng)可進(jìn)行長達(dá)8英寸的晶圓表征。用于測量d33的雙光束激光干涉儀(aixDBLI)可提供經(jīng)過驗(yàn)證的精度(x切割石英),可達(dá)0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是單次測量的采集時(shí)間極短,僅為幾秒鐘?;谛碌臄?shù)據(jù)采集算法,測量速度提高了100倍。這使得比較了以相同激勵(lì)頻率記錄的薄膜的電氣和機(jī)械數(shù)據(jù)。由于差分測量原理,消除了樣品彎曲的影響,這是使用原子力顯微鏡(AFM)進(jìn)行此類測量的主要障礙。
分辨率:1 pm通過x-cut Quartz測試
位移/應(yīng)變測量:
50 Hz-5 kHz
100 mV至10 V
Max.25 V(可選)
壓電d33系數(shù):
偏壓(1 mHz至1 Hz):100 mV至10 V
Max.25 V(可選)
小信號(hào)(1 kHz至10 kHz):100 mV至10 V
電致伸縮M33:與d33相似
C(V)測量:
偏壓(1 mHz至1 Hz):100 mV至10 V
Max.25 V(可選)
小信號(hào)(1 kHz至10 kHz):100 mV至10 V